仪器对比
关注
Trymax自2003年开始运营，总部设在荷兰Nijmegen，全世界有数十个销售中心以及服务中心。 Trymax的核心业务是通过创新使用等离子体来去除光刻胶以及表面清洁活化，同时Plasma系统可以用于集成电路和其他半导体器件的蚀刻。Trymax设备在半导体去胶、清洗、活化工艺中起到了关键性作用，已经得到世界各大半导体制造商的青睐。
Trymax NEO 200A Series
• 特征
- 高达200毫米晶圆尺寸/基板尺寸
- 双料盒
- 3轴双臂机器人处理
- 选择4个不同的流程模块：
•微波模块（2.45 GHz）
•RF模块（13.56MHz）
•双源（微波，射频模块）
•DCP（双射频）
- 优异的均匀性和重复性
- 产能> 100wph
- 占地面积小
- 基于Windows的工业计算机
100天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
24小时内
否
2天内
是
60天
不支持
相关产品
