高真空检漏仪采用高分辨显微镜平台,xy轴微运动集成,以及高分辨电子相机和显示屏,完全契合电镜使用,具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度,并具有强大的扩展输入和输出、多通道参数设置和选择、大容量记录和存储、通信处理、质量检测、数据传输的功能等等。检测灵敏度高,位置精确,操作便捷。
1) 整体尺寸:L*W*H=600*600*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准。
2) 压力范围:0-1000mbar。
3) 适用电镜样品台:FEI、JEOL、Hitachi(适配)
4) 适用原位反应舱芯片:自组装键合一体式芯片,加热芯片,纳流体芯片。
5) 极限真空小于等于1×10-6 mBar,原位样品台检漏操作真空度小于等于8×10-5 mBar。
6) 接口模块含控制阀门,以在电源关闭时保持真空状态,或在检漏完成,实现检漏模块气体通入,加速样品台取出过程。
7) 数字显微系统分辨率优于1微米,帧率大于等于30帧/秒。
1年
是
有
免费上门培训1次
1年1次
免费上门维修
3个工作日内到达现场开始维修
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