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卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备（PECVD），并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中，如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。
设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分，整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。
收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样，从而保证了实验的精确性
卷对卷式PECVD技术参数：
1200℃双温区管式炉 | 供电电压 | AC220V，50Hz |
最大功率 | 3KW | |
加热温区 | 双温区 200mm+200mm | |
工作温度 | ≤1200℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 | |
炉管材质 | 高纯石英 | |
炉管尺寸 | φ80mm I.D x 1400mm L | |
密封方式 | 不锈钢真空法兰 | |
真空测量 | 电阻规 | |
工作气体 | 氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 | |
真空泵 | 双极旋片式真空泵 | |
极限真空度 | 10^-1Pa | |
三路质量流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
气路数量 | 三路 | |
承压范围 | 0.05~0.3MPa | |
量程 | 1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) | |
流量控制范围 | ±1.5% | |
混气罐容积 | 750mL | |
气路材料 | 304不锈钢 | |
管道接口 | 6.35mm卡套接头 | |
供电电源 | AC220V 50Hz | |
S射频电源 | 输出功率 | 500W |
输出精度 | ±1% | |
射频频率 | 13.56MHz | |
射频稳定度 | ±0.005% | |
冷却方式 | 风冷 |
1年
否
有
2人次技术培训
一年一次
免费维修
24小时内响应
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