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单靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备，具有结构紧凑，简单易用，集成度高，设计感强的优势。等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸，客户可以根据需要选择1~3个靶的不同配置，以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源，可用于金属溅射镀膜，尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。镀膜仪配有通气接口，可以通入保护性气体，若客户需要通入混合气体，可以联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。
单靶等离子溅射镀膜仪适用范围：
可用于金属溅射镀膜，尤其适合金银铜等金属的镀膜。
主要技术参数 | |||
样品台 | 尺寸 | Φ138mm | |
加热温度 | 最高500℃ | ||
控温精度 | ±1℃ | ||
转速 | 1-20rpm可调 | ||
等离子溅射头 | 1支2寸等离子靶 | ||
真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ180mm×150mm | |
腔体材料 | 高纯石英 | ||
观察窗口 | 全向透明 | ||
开启方式 | 顶盖拆卸式 | ||
前极泵 | VRD-4 | ||
抽气速率 | 旋片泵：1.1L/S | ||
极限真空 | 1.0E-1Pa | ||
抽气接口 | KF16 | ||
排气接口 | KF16 | ||
真空测量 | 数字真空计 | ||
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | |
整机功率 | 800W | ||
溅射真空 | 20Pa | ||
整机尺寸 | 长360mm宽300mm高470mm | ||
整机重量 | 30Kg | ||
1年
否
有
2人次技术培训
一年一次
免费维修
24小时内响应
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