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三靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备，等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸，客户可以根据需要选择1~3个靶的不同配置，以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源，可用于金属溅射镀膜，尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。镀膜仪配有通气接口，可以通入保护性气体。仪器采用触摸屏控制，简单直观易于上手，能够一键实现镀膜启停、切换靶位、挡板旋转等操作，十分适合实验室选购。
本镀膜仪标配为双极旋片真空泵，其具有体积小，抽真空快，操作简单的优势，若客户有进一步提升真空度的需要，可以联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。
三靶等离子溅射镀膜仪适用范围：
可用于金属溅射镀膜，尤其适合金银铜等金属的镀膜。
三靶等离子溅射镀膜仪技术参数：
三靶等离子溅射镀膜仪 | ||||
样品台 | 尺寸 | φ138mm | 控温精度 | ±1℃ |
加热温度 | *高500℃ | 转速 | 1-20rpm可调 | |
直流溅射头 | 数量 | 2"×1 （1~3个靶可选） | ||
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm × 150mm | 观察窗口 | 全向透明 |
腔体材料 | 高纯石英 | 开启方式 | 顶盖上翻式 | |
真空系统 | 机械泵 | 旋片泵 | 抽气接口 | KF16 |
真空测量 | 电阻规 | 排气接口 | KF16 | |
极限真空 | 1.0E-1Pa | 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵：1.1L/S | |||
电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 | *大输出功率 | 150W |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 360mm × 300mm × 470mm |
整机功率 | 800W | 整机重量 | 40kg | |
1年
否
有
2人次技术培训
一年一次
免费维修
24小时内响应
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