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- 进口无油隔膜泵
- ≥0.7m3/h
- ≤50Pa
- ≤2min
- 进口皮拉尼真空计
- φ150*90mm不锈钢腔室
- 适用于各品牌样品杆转接可选
- 靶源尺寸φ80mm
- 10-50w可调，13.56MHz
- 60-150Pa
- 恒定压强闭环控制，空气（无需外接气源）
- 触摸屏控制，一键式操控
透射电镜等离子清洗仪IC150概述
采用进口品牌高性能真空干泵产生一个洁净的< 50 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于2-3分钟。采用高品质恒功率RF射频电源，确保工艺重复性。感应射频放电模式也大幅降低等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于对温度或轰击敏感的TEM或SEM样品进行有机污染物清洗、积碳清除、表面活化、亲水化等用途。触摸屏自动控制，即插即用。
等离子清洗仪IC150有机污染物清洗原理
IC150 采用RF射频远程等离子源作为核心部件。离子源通过RF射频电源将通入的空气离化，离化后产生的O活性自由基、O3臭氧及氧等离子体等强氧化粒子与样品表面有机污染物（碳氢化合物）发生化学反应，生成CO2，CO，H2O并被真空泵组抽出，最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。
等离子清洗仪IC150表面改性亲水化原理
离子源通过RF射频电源将通入的空气离化，离化后产生的等离子体与样品表面作用，提高样品表面能，实现样品表面由疏水性到亲水性的转变。
等离子清洗仪IC150处理样品前后实际效果对比
-
等离子清洗仪处理TEM透射电镜样品清洗和活化半导体 2018-01-16
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| Sejin Science | 2023-08-22 |
| 中科院上海微系统所 | 2023-08-25 |
| 东莞市材料基因研究所 | 2023-10-25 |
| 新疆大学 | 2023-11-02 |
| 中材新材料研究院 | 2023-11-03 |
| 内蒙古工业大学 | 2023-11-27 |
| HW | 2023-12-14 |
| 深圳信息职业技术学院 | 2024-01-05 |
| 胜科纳米 | 2024-01-23 |
| 深圳大学 | 2024-02-05 |
| 中科院微生物所 | 2019-12-30 |
| 南开大学 | 2020-04-30 |
| 北京科技大学 | 2020-06-15 |
| 山东省科学院材料研究所 | 2020-11-05 |
| 大连理工大学 | 2021-04-30 |
| 东南大学 | 2021-06-17 |
| 长沙理工大学 | 2021-10-29 |
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