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红外辐照器

报价 ¥20万 - 30万

品牌

Inframet

型号

MIRAD

产地

欧洲波兰

应用领域

暂无

在制造LWIR/MWIR FPA成像传感器的半导体晶圆过程中需要用到晶圆测试机,MIRAD红外辐照器是晶圆测试机的一个组件。MIRAD是中/远红外辐射源,可调节光强并提供均匀的辐照来测试晶圆。

MIRAD辐照器的设计思路整合了三个模块(MTB中温的黑体,VAB光机辐射衰减器和三个TP透射管),三个模块组合一起,从而在管道出口几十毫米下的晶圆面接收到均匀、光强可调节的MWIR/LWIR辐照。

 

产品特性

     MIRAD的设计针对半导体行业进行了优化。与典型黑体相比,MTB黑体的热发射明显降低。对通过VAB衰减器的空气进行了过滤。TP透射管内的光学元件保护半导体晶圆不受来自MTB黑体高温发射端涂层掉落粒子的污染。

     MIRAD辐照器完全由电脑控制。MIRAD控制程序可以远程控制MTB黑体的温度和VAB可变衰减器的衰减。用户可以设置所需温度和衰减的单一值,也可以设置复杂的时域波形,当软件在指定的时间间隔后自动改变红外辐辐射度。软件还可以计算所需光谱波段的晶圆表面的辐照度。

产品参数

参数

描述

总体参数

TP3 管到被测sensor的距离

28   mm (可定制)

晶圆表面的宽波段辐照度

至少8 mW/cm2 (详见测试报告)

被测sensor面积

直径60mm

建议测量区域大小

不超过直径 40mm

辐照度不均匀性

< ±百分之二 ,直径30 mm范围内

< ±百分之三  ,直径 50 mm范围内

<   ±百分之五  ,直径 60 mm范围内

辐射波段

 0.7μm 30 μm

发射光谱

类似于所设置的黑体温度对应Planck光谱

黑体参数

黑体温度范围

50°C 550°C

建议 ≤ 500°C

黑体辐射面积

直径 120 mm

黑体辐射有效面积

直径 90 mm

调整分辨率

10mK

时间稳定性

不超过50 mK

控制方式

USB接口,PC控制

VAB 衰减器

透过率范围

100

调制分辨率

不少于 0.1

洁净空气过滤器

控制方式

USB接口,PC控制

TP1/TP2/TP3  

尺寸

 IP750 成像测试机定制尺寸

设计

管内有挡板,集成光学镜片和整形部件

透过率

1 μm 30 μm范围内均匀透过

其他参数

工作温度

+5oC 35oC

储存温度

-5oC 55oC

工作湿度

不超过百分之七十五

储存湿度

不超过百分之五十

 


售后服务

1年

按照合同履行

免费维修

8小时内响应

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