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- ≥3W
- ≥70MHz
- ＜1.2
- ≤1%
高端深紫外准连续固体激光光源实现国产替代
深紫外准连续固体激光光源应用场景广泛，在材料表面检测（半导体晶圆缺陷检测等）、激光诱导击穿光谱（LIBS）、激光诱导荧光（LIF）、紫外拉曼光谱仪、激光精细微加工（激光直写、激光诱导等离子体加工、光学布拉格光栅刻写）等方面具有独特的技术优势。这些应用对光源的要求具有相似性：波长短、光谱线宽窄、功率高、重复频率好、稳定性高及可靠性高等。
伴随国内对266nm及以下波段高端深紫外光源需求量的日益增加，具有垄断地位的国外进口光源存在采购风险，且很难保证产品的售后时效性，国内相关产业迫切需要高端深紫外光源实现国产化替代。在此背景下，北京科益虹源光电技术有限公司（下文简称科益虹源）利用现有的光、机、电、控、测等完备研发体系积极开展科研攻关，突破多项关键核心技术难点，形成高稳定性、高可靠性的高端深紫外光源产品，该系列产品具有完全自主知识产权，可实现高端深紫外光源国产化替代。
科益虹源现已推出多款深紫外波段的货架产品，主要集中在213nm波段及266nm波段，现已开发4款成熟机型，脉冲宽度＜10ps，光谱线宽小于15pm，重复频率1MHz/70MHz为主，技术参数对标进口产品的高端深紫外光源。其中，266nm波段的高重频大功率皮秒级固体激光光源已成功推向市场，在半导体检测行业与激光精细微加工行业形成了商业订单。目前公司产品266nm及以下深紫外波段主要货架产品技术指标参见下表：
主要参数 | RS-G266Z3W-70M | RS-G266Z4W-70M | RS-G266Z3W-1M | RS-G213Z-1M |
中心波长 | 266.0±0.15nm | 266.0±0.15nm | 266.0±0.15nm | 212.9±0.15nm |
光谱线宽（FWHM） | ＜±0.015nm | ＜±0.015nm | ＜±0.015nm | ＜±0.015nm |
平均功率 | ≥3W | ≥4W | ≥3W | ≥500mW |
重复频率 | ≥70Mhz | ≥70Mhz | ≥1Mhz | ≥1Mhz |
偏振比 | ≥100:1 | ≥100:1 | ≥100:1 | ≥100:1 |
光束质量 | ＜1.2 | ＜1.2 | ＜1.2 | ＜1.8 |
脉冲宽度（FWHM） | ＜10psec | ＜10psec | ＜10psec | ＜10psec |
长期稳定性@8hrs（RMS） | ＜±0.5% | ＜±0.5% | ＜±0.5% | ＜±1% |
光束指向稳定性 | ＜±25μrad | ＜±25μrad | ＜±25μrad | ＜±25μrad |
束腰直径 | 0.4±0.1mm | 0.4±0.1mm | 1±0.1mm | 1±0.1mm |
发散角 （全角） | ≤1.5mrad | ≤1.5mrad | ≤0.6mrad | ≤1mrad |
整机寿命 | ≥20000hrs | ≥20000hrs | ≥20000hrs | ≥10000hrs |
266nm及以下波段深紫外产品主要产品技术指标
激光器图片与相关实测数据
由于深紫外激光单光子能量较高，非线性晶体容易损伤，保证长期可靠性是一个挑战。科益虹源自主研发，通过独特设计自主知识产权的功率稳定性控制算法、全自动移点、高光束质量设计、吹扫过滤保护设计等来保证产品长期可靠性、稳定性，满足工业用户对长期可靠性的实际需求，已达到世界先进水平：单点寿命可实现连续超1000小时工作，1000小时平均功率RMS＜0.5%，光束质量M²小于1.2，已赶超同类进口产品水平。
同时，科益虹源积极开展同类型更高重频120MHz深紫外大功率工业级固体激光光源开发，并针对更多类型工业用户实际需求，开展了脉宽2-7ns可调谐、频率1Hz-1MHz可调谐的266nm大功率固体激光器的研发。目前，以上机型已完成方案验证及工艺定型，正在开展产品化生产，很快也会形成货架产品投向市场，为国内工业用户高端深紫外光源提供更多选择。
除以上重点介绍的266nm及以下波段深紫外准连续激光器外，科益虹源在其他波段，也研制完成多个激光器产品序列，包含532nm、355nm等多款产品均满足工业客户高可靠性、长时间稳定性的需求，技术指标均达到国内先进水平。作为国产高端激光器厂家，公司与客户进行了深入沟通，了解客户痛点，提升客户满意度和使用体验，提供专业定制化产品，满足技术指标需求情况下，保证产品质量及供货周期。
科益虹源从公司成立之初，就针对深紫外准连续固体激光光源开展研发工作，具备完整光、机、电、控、系统和集成领域研发生产团队，是国内唯一一家能够为客户提供266nm及以下波段的深紫外、高重频、大功率、工业级、固体激光光源供应商。
公司多年来深耕工业级深紫外激光器行业，是中国唯一、全球第三家光刻准分子激光技术全链条研发和产业化的公司，拥有国家02专项支持、10余年技术储备、杰出专业团队、二百余项专利授权等多项核心竞争力。具备专业化团队，能够为客户提供实时技术支持，保障客户设备稳定运行，保证产品质量同时满足客户交货周期要求，为客户经济效益保驾护航。
科益虹源秉承“服务国家战略，实现产业价值”的使命，致力于打造高端光源领域的自主创新型企业，打破国际对集成电路相关高端光源的垄断，为国家产业发展提供产品与技术支持，成为高端光源领域具备国际竞争力的知名企业。
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