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成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制

报价 ¥100万

品牌

超迈光电

型号

CM-014

产地

中国大陆四川

应用领域

暂无

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●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。



售后服务

100天

1年

安装调试现场免费培训;额外提供免费培训

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