TOC测定仪 总有机碳分析易耗品更换周期
UV灯和蠕动泵管可以从本公司购买。UV灯为185nm、254nm双波长紫外灯,蠕动泵管为进口泵管,具有高品质和良好的稳定性。易耗品更换周期参考表5.1。
表5.1 易耗品维护/更换表
部件号 | 部件名称 | 更换周期* |
19058Z | UV灯 | 6个月 |
10062Z | 蠕动泵管 | 12个月 |
* 本公司推荐的更换周期为仪器在连续运行(在线使用)的情况下易耗品的使用寿命。若仪器离线使用或运行时间不连续的情况下可以适当延长。仪器设置了紫外灯使用期限,当超过使用时间,开机时将出现提示框。
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注意事项
① 打印查询记录时,必须注意首先在“参数设置”菜单下选择“打印”,然后将打印机接到仪器并行接口上,打开打印机电源,在“查询记录”页面(如图4-32)将自动打印数据。若不需要打印,先关闭打印机电源,再在“参数设置”菜单下选择“不打印”选项。
② 检测水样含有不溶性微粒时必须使用过滤器,过滤器的滤膜孔径应≤60μm。
③ 进样管运行时应没入液面以下,管口置于靠近容器底部的溶液高度1/3处,停机状态也应让管路浸在纯水中。长期不使用仪器,则将进样管用封口膜封住,防止污染。
④ 仪器内部管路中有气泡时,检测数据会受到干扰。若观测到透明的Teflon管中有气泡时应用纯水冲洗管路直到气泡完全排出。
⑤ 仪器正常运行时排液管应有水滴出。若排液管不能正常出水,说明管路堵塞或管路内含有较多气泡,应逐步检查管路。可连接注射器将管路中气泡或堵塞物抽出,使管路通畅。
⑥ 每次关闭电源后至少需等3分钟后才能再开机。
⑦ TOC分析仪配置了机载快闪数据存储芯片,可提供连续12个月运行的数据存储容量,可以任意查询并打印。
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更换UV灯
UV灯的强度,特别是短波长UV光线的辐照度会随使用时间的延长而减弱,因此需要定期进行更换,本公司建议若连续使用则每六个月更换一次,使用时间较少的情况下可以适当延长。
更换UV灯时,须小心操作,以免损坏灯管及其周围的螺旋状石英管。
给客户提供新UV灯管时,附送一双手套供安装时使用,避免在UV灯管表面和螺旋状石英管表面留下指纹。指纹会吸收UV光线、降低氧化反应器的氧化性能。同时在安装新的UV灯管之前可以使用乙醇去除指纹,或不小心留下指纹后可以用乙醇擦拭。
更换UV灯具体操作:
① 关闭主电源开关,拔去电源线。
② 将仪器机箱后盖板的螺钉拧开,打开后盖板。
③ 拔掉连接灯管的电源线插头,并拧松灯管座的锁紧螺母,慢慢抽出灯管。
④ 换上新灯管并调整灯管在螺旋石英管中的有效位置,拧紧锁紧螺母。
⑤ 插好灯管的电源线插头并将机箱后盖板螺丝拧紧,更换结束。
更换以上部件时存在问题可联系仪器厂家解决。
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蠕动泵管在长期运行后会有磨损和老化现象,建议每12个月更换一次。
更换泵管具体操作:
① 关闭主电源开关,拔去电源线。
② 将仪器机箱后盖板的螺钉拧开,打开后盖板。
③ 将蠕动泵泵压环两端的内六角螺钉拧开,再将泵管压紧块上的内六角螺钉也拧开。将泵管从蠕动泵泵环中取出。
④ 将泵管一端从电导率传感器出水口拔出,另一端从废液管拔出。此时,两根泵管可以整个拆卸下来,然后取下两根泵管之间的泵管挡块。
⑤ 将泵管档块套在新的两根泵管上并调整档块位置,然后将两根新泵管中间部位放入蠕动泵泵环,泵压环两端的内六角螺钉拧紧,再将泵管两端压在压紧块和固定块之间,泵管压紧块上内六角螺钉拧紧。将泵管档块调整到靠近电导率传感器这端的压紧块边上。
⑥ 将泵管一端与电导率传感器出水口连接,另一端与废液管连接。
⑦ 最后将机箱后盖板螺钉拧紧,更换结束。
更换以上部件存在问题可联系仪器厂家解决。
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电子行业水质标准
1. 电子工业与超纯水
在半导体制作工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每-道化学处理都离不开超纯水; 在硅片的处理工序中,一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如 水中含有杂质便会进入硅片,造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ .cm ( 25℃) ,已极其接近理论纯水水质 18.3 MΩ .cm (25℃) 。对电解质、DO 、TOC 、SIO2 、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。如 256 兆 位的动态随机储存器生产工艺,光刻线条宽已达 0.1 微米,要保证这一指标,超纯水中颗粒 径就得≤0.05μm ,而且 20.05μm 不得超过 500 个/升超纯水。
2 、水质标准
超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
水的电阻值
在测定水的导电性能时,与水的电阻值大小有关,电阻值大,导电性能差,电阻值小,导电 性能就良好。根据欧姆定律,在水温一定的情况下,水的电阻值 R 大小与电极的垂直截面 积 F 成反比,与电极之间的距离 L 成正比。
水的电阻率的大小,与水中舍盐量的多少,水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速 度有关。因此,纯净的水电阻率很大,超纯水电阻率就更大。水越纯 ,电阻率越大。
4.1 水的电导率
由于水中含有各种溶解盐类 ,并以离子的形态存在 ,当水中插入-对电极时,通电之后, 在电场的作用下,带电的离子就产生-定方向的移动,水中的阴离子移向阳极,阳离子移向 阴极,使水溶液起导电作用。水的导电能力的强弱程度,就称为电导度 S(或称电导) 。电 导度反映了水中含盐量的多少,是水的纯净程度的一个重要指标。水越纯净,含盐量越少, 电阻越大,电导度越小。超纯水几乎不能导电。电导的大小等于电阻值的倒数。即 S=1/R, S= ( 1/p)(F/L)。1/p 就称为电导率,其国际制单位为西 ·米-1(S ·m-1)
理论上,水中由于水本身的电解作用而只存在两种离子即 H+和 OH- ,其浓度如下
[H+] = [OH-] = 10-7 eq/l (or 10-10eq/ml)
这些浓度的离子经计算而得到理论的电导率 ∶
X=0.055μS/cm 在 25℃
电阻率为电导率的倒数,所以
R=18.2MΩ .CM 在 25°℃
电阻率的检测 ∶电阻率在线测试仪(中科院半导体所参加起草制定)
电阻率是指在一定的温度下,边长 1cm 的立方体水,其相对的两侧面之间的电阻,其单位 是欧姆.厘米(2.cm)。水的电导率是电阻率的倒数,单位是西门子/厘米(s/cm )。
4 . 3 水的温度与电导率关系
影响水的电阻率值的因素很多,例如测量方法、电极方向、电容效应、极化效应、水的纯度、 测量温度等。超纯水的测量必须采用带温度补偿的仪器进行在线测试 ,而且定期到法定机 构计量校正。
温度校正是将测量的电阻率值换算到 25℃时的电阻率值,以便于比较不同水质。
表 4.1 水的温度(t)、电导率 K 、电阻率及温度系数 K 的关系
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