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Canon FPA3000 EX4
Canon FPA3000 EX4步进式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.25µm
主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
光源波长248nm
分辨率优于0.25µm
主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
| 分辨率 | 0.25µm |
| N.A. | 0.4~0.6 |
| 曝光光源 | 248nm |
| 倍率 | 5:1 |
| 最大曝光现场 | 22mm*22 mm |
| 对准精度 | 60nm |
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