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液体原料CVD设备 PD-330STC
沉积物高达 ø300 mm (12")
概要
PD-330STC是一种低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等离子体增强CVD系统，可用于大规模生产。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到极厚的薄膜（高达100 µm）。该系统通过采用大气盒装载和ø300毫米晶圆的优良工艺均匀性，实现了高产量。
主要特点和优点
沉积范围达ø300 mm（12"）。
阴极耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速（>300 nm/min）沉积。
通过低温沉积，可以在塑料表面上沉积薄膜。
高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率
使用锗、磷、硼液源控制折射率。
优异的工艺均匀性和可重复性
应用
塑料材料上保护膜的沉积
在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。
光波导的制造（光纤芯/包层）。
制造用于微型机械生产的面罩。
覆盖高纵横比结构，如MEMS器件。
TCSAW器件的温度补偿膜和钝化膜。
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
等离子体增强CVD系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子体增强CVD系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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