v 应用范围:Lowk晶圆,GaN晶圆,非lowk晶圆
v 设备特点:
Ø 采用特殊定制的脉冲宽度激光加工,专为晶圆激光加工定制
Ø 采用超短脉冲宽度加工,有效提高切割线品质
Ø 特殊定制的脉冲宽度开槽后,热影响区<2um
Ø 整合多种激光微加工技术,切割效率和工艺窗口兼备
Ø 多种常规切割功能组合切换选择
Ø 采用Mask+TOP-HAT光斑组合模组
Ø 经过优化的双光路加工模组
Ø 采用高精度视觉检测系统
Ø 可兼容8英寸和12英寸
Ø 自动上下料功能,无人值守全自动运行,批量化生产
v 加工尺寸:8inch、12inch
v 加工速度:100mm/s~600mm/s
v 加工精度:≤±3μm
v 平台参数:600mm*600mm
v 激光器参数:532nm,25W
稼动率:>0.95
60天
1年
安装调试现场免费培训
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