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阿米精控高精度晶圆对位平台采用音圈电机直接驱动的并联机械结构设计，实现X方向和Y方向直线运动和θZ轴旋转运动。具有速度快、刚度高、承载能力强等优点。内置超精密光栅位移传感器实现全闭环解耦控制，运动分辨率<50nm,重复定位精度±100nm,满足工业产线上高精度、高频率的对位、绑定、贴合、组装等应用需求。
性能参数：
· XY向行程：±10mm
· Rz行程：±3°
· 重复定位精度：±100nm
· 负载:10kg
· 自重：17kg
平台特点：
高精度
频率高
行程大
承载大
响应快
应用场景：
纳米压印技术
限位操作
视觉伺服
激光加工
光学对准测量
60天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
48小时内
否
15天内
是
90天
1年
否
否
先付款后维修
维修图纸；技术参数；维修手册
不支持
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