产品从出厂检验到装机验收,每一步都严格遵守工作流程。为客户提供更好的服务,是英铂一直以来追求的目标。
北京大学集成电路学成立于2021年,积极响应国家大力发展集成电路人才培养和加强科技创新的重大战略部署,发挥集成电路领域的学科领先优势以及数学、物理、化学、计算机等相关一流学科的交叉融合特点,一直是我国集成电路学科建设和科技创新改革的排头兵。
英铂科学仪器是一家上海市高新技术&专精特新企业,在全国拥有10多个销售&售后点,在上海拥有全套Open Lab公开实验室。致力于半导体和微纳米领域电学测试完整解决方案。领域涵盖DC直流、RF射频、HP功率电子、光电、极低温磁场、ESD/TLP、PCB测试等等。为客户的研发、失效分析、可靠性、WAT、CP、Burn in等提供完整且具性价比的方案。
Annealsys于2004年在法国南部的蒙彼利埃成立。Annealsys公司专业生产快速热加工(RTP)和化学气相沉积(CVD/ALD)系统。其客户主要是研发实验室和生产应用公司。
01
AS-Master S20HT 退火炉
02
产品介绍
Annealsys AS-Master是一款多用途的200mm RTP设备,温度范围在室温至1450℃,大气压到10-6 Torr,可手动或自动基片装载。
产品优势
·可处理到200mm基片的独立设备
·带有闭合环路空气冷却的多区红外灯卤素打火炉
·不锈钢冷壁腔室技术
·快速数字PID温度控制器
·热电偶和高温计控制
·常压和真空工艺能力
·带针阀的吹扫气路
·最多可配带MFC的工艺气路8条
·配有以太网通讯的PC控制,用于快速数据记录
·可选配分子泵和压力控制
·手动或盒到盒装载
产品应用
可应用于注入退火、欧姆接触退火(III-V and SiC)、碳化硅、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)、旋涂掺杂物扩散、致密化和结晶、硒化等。
不忘初心
筑梦前行
英铂助力吉林大学搭建极端低温强磁电学测试系统
突发!9月24日美国提案制裁BOE和天马
晶圆级超低漏电器件阵列测试系统
英铂携手Raith助力XXX搭建半导体晶圆级电子束图形化设备
相关产品
Tektronix/Keithley 半导体参数分析仪 S530
MPI TS2000-SE探针台
iwatsu 半导体器件图示仪器CS3000/5000/10000系列
英铂信号测试系统/半导体测试机瞬态热阻测试仪
英铂功率分析仪YBHTOL-1000 功率器件工况老化测试平台
英铂功率分析仪GaN晶圆级动态功率测试系统
滨松HAMAMATSU其它无损设备EMMI微光显微镜 PHEMOS-X
聚能晶源Genettice微流控芯片GaN外延产品
OKMETIC微流控芯片SOI硅片/图案化硅片/单抛片/双抛片
爱德万ADVANTEST失效分析设备TS9001 TDR分析系统
MPI探针台MPI 全自动KGD测试系统MPI Die Prober Series
Farran毫米波太赫兹测试系统Cobalt Fx + TS150-THZ
Farran射频和微波测量系统Farran毫米波 波导测试系统
概伦电子primarius半导体器件测试仪器FS-Pro 半导体参数测试系统
Maury矢量接收机负载牵引系统
关注
拨打电话
留言咨询