晶圆级超低漏电器件阵列测试系统

晶圆级超低漏电器件阵列测试系统

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台发布新功能，侧面带有VCE，可完美解放您的双手，实现精准定位，完成自动扎针，使测试过程更加方便快捷。

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境

2、自动化晶圆装载系统

该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆，针对高低温环境下可提高测试效率

3、ERS独特的 AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment，可大幅减少30%至50%的空气消耗

4、侧视影像系统(VCE)

借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全

1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测

4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

7、支持飞安级低漏电值量测

8、支持温度范围 -60 °C 至 300 °C

4200A-SCS是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。

●± 210 V/100 mA或± 210 V/1 A模块

●100 fA测量分辨率

●选配前端放大器提供了10 aA测量分辨率

●10 mHz - 10 Hz超低频率电容测量

●四象限操作

●2线或4线连接

C-V多频率电容单元(CVU)

●AC阻抗测量(C-V, C-f, C-t)

●1 kHz - 10 MHz频率范围

●± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V差分)

脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)

●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道

●200 MSa/s，5 ns采样率

●±40 V (80 V p-p)，±800 mA

●瞬态波形捕获模式

●任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率

1、随时可以投入使用、可修改应用测试、项目和器件，缩短测试开发时间

2、内置测量视频的仪器，分为4种语言，缩短学习周期

3、pin to pad接触检查，确保测量可靠

4、多种测量功能，数据显示、分析和代数运算功能

5、实时结果和参数，自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，无需示波器检验脉冲测量，脉冲定时预览模式可查看脉冲定时参数