亚科电子-超高分辨率电子束光刻EBL_价格_北京亚科晨旭科技有限公司

产品详情

超高分辨率电子束光刻EBL
Ultrahigh Resolution EB Lithography

纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。

超高分辨率的电子束光刻

加速电压：最高130keV
单段加速能力达到130keV，尽量减少电子枪的长度
超短电子枪长度，无微放电
电子束直径＜1.6nm
最小线宽＜7nm
双热控制，实现超稳定直写能力

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型号：	超高分辨率电子束光刻EBL
产地：	其他国家
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