批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300_价格_北京亚科晨旭科技有限公司

批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300

参考价：¥100万 - 150万

型号：

批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300

产地：

日本

品牌：

评分：

产品详情

批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300

批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm，300mm尺寸晶圆。

产品特性 / Product characteristics

• 高产率以及低CoO

• 良好的刻蚀均一性（小于±5%/批）和再现性

• 干法刻蚀

• Damage-Free（远端等离子、低温工艺）

• 自对准接触电阻仅为湿法的1/2

• 灵活的装置布局

• 高维护性（方便的侧面维护）

• 300mm晶圆批处理：50枚/批

产品应用 / Product application

• 自对准接触形成工艺前处理

• 电镀工艺前处理

• 晶膜生长前处理

• Co/Ni自对准多晶硅化物的前处理

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