涉危涉化

日立高新技术科学公司于2019年3月起，在中国开始销售利用光干涉原理进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学干涉测量系统“VS1800”，该产品搭配有支持多目的表面测量国际标准“ISO 25178*1参数对比工具”，通过简单而准确的样品测量支持客户的分析业务，与此同时，凭借不断创新积累的三维测量性能，实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。 在半导体、汽车、食品、医药品等产业领域的材料研究和开发方面，为了提高产品的性能与功能，对产品表面的粗糙度、凸凹不平、翘曲等表面形状的评估变得尤其重要。以往，表面形态的测量方法，一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量（线＋高差），但近年来，伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速，需要获取更多的信息，因此，采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量（面＋高差）便得到了灵活应用。 此外，2010年制定了有关三维表面形态评估的国际标准ISO 25178，确立了评估方法，在这种背景下，实施三维测量的企业和研究机构等日益增多。因此，需要我们急切实现有关表面形态测量上的测量与分析的简单化以及应对多种样品的测量问题。 此次发售的“VS1800”产品， 搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具”。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数，但在对比样品时，选择最适合评估的参数很难，成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具”，通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序，可轻松选出最适合对比样品的参数，从而支持客户的分析业务。 此外，“VS1800” 产品，通过光干涉方法*4除了可实现大视野测量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重现性外，亦通过日立高新技术科学自主研发的技术，继承了多层膜的无损伤测量等传统产品的高测量性能。此外，该产品还可搭配“大倾斜角测量选配 ”*6功能，通过捕捉大倾斜角斜面的微弱的干涉条纹变化，实现传统的光干涉方式无法实现的大倾斜角斜面测量，从而应对多种多样的样品表面性状的三维测量。 日立高新技术集团拥有可实现极微细样品的高分辨率测量的原子力显微镜、扫描电子显微镜直至大视野、高精度测量可能的“VS1800”等产品阵容，提供表面分析解决方案，从而满足客户的广泛需求。*1 ISO 25178：规定表面形态评估方法的国际标准。*2扫描型白色干涉显微镜：利用光干涉原理进行非接触式、无损伤的表面形态测量的测量设备。*3激光显微镜：将激光作为光源进行表面形态测量的测量设备。 *4光干涉方法：是利用两列或两列以上的光波相互叠加而出现光明暗（干涉条纹）现象（干涉）的检查方法。*5 0.01 nm的垂直方向分辨率为Phase模式时的性能。*6“大倾斜角测量选配”为选择项目。 【主要特点】(1)高测量性能?垂直方向分辨率：利用光干涉方法，通过独自的算法，实现0.01 nm*的垂直方向分辨率?重现性：利用干涉条纹测量凸凹的高度，通过将来自Z驱动机构的影响最小化，实现0.1 %以下的重现性?测量速度：由于不需要样品的前处理，只要将样品放置在样品台上即可完成测量准备。通过光干涉方法最 快5秒钟即可完成测量?测量视野：以从干涉条纹获取的信息为基础进行凸凹高度的测量，由此可实现广范围（One-shot最 大6.4 mm×6.4 mm）测量与高垂直方向分辨率的两者兼顾。此外，通过连接多个数据的图像，可进一步实现广范围的分析?无损伤测量：通过日立高新技术科学自主研发的技术，对玻璃和薄膜等透明多层结构样品进行测量时，无需对样品进行加工切割成截面，即可在无损伤的情况下，完成多层结构样品的各层厚度或异物混入状况的确认以及缺陷分析等 　* Phase模式时 (2) 易于使用的操作界面采用直观易懂的操作界面，能够轻而易举地进行图像分析处理前后的图像对比，从而支持分析时的最合适图像处理选择。此外，可简单地列出处理与分析的内容、创建独自的分析参数、重复使用分析参数等，并且还可批量处理数据，由此实现统一管理多个样品和分析结果，减轻繁琐复杂的后处理。 (3) ISO 25178参数对比工具 在对比多个样品时，通过将ISO 25178标准中规定的32项参数值按差异的大小顺序重新排列，从而在样品对比时能够轻松选取最适参数，支持客户的分析业务。 (4) 硬件升级按每一台XY样品台的驱动方式，设计了3个类型的产品，即基础模式的手动型Type 1、电动型Type 2、Type 3。从Type 1到Type 2、Type 3，均可根据不同的用途进行升级。

A. JSL系列窄带干涉滤光片JSL系列,窄带干涉滤光片（Narrow Bandpass Interference Filters）选型表型号名称中心波长(nm)半宽FWHM(nm)峰值透射率(%)JSL394-25窄带干涉滤光片3941530JSL400-25窄带干涉滤光片4001530JSL420-25窄带干涉滤光片4201530JSL440-25窄带干涉滤光片4401530JSL460-25窄带干涉滤光片4601530JSL480-25窄带干涉滤光片4801530JSL500-25窄带干涉滤光片5001530JSL520-25窄带干涉滤光片5201530JSL526-25窄带干涉滤光片5261530JSL540-25窄带干涉滤光片5401530JSL560-25窄带干涉滤光片5601530JSL580-25窄带干涉滤光片5801530JSL589-50窄带干涉滤光片5891530JSL600-25窄带干涉滤光片6001530JSL620-25窄带干涉滤光片6201530JSL620-50窄带干涉滤光片6201530JSL640-25窄带干涉滤光片6401530JSL660-25窄带干涉滤光片6601530JSL670-50窄带干涉滤光片6701530JSL680-25窄带干涉滤光片6801530JSL700-25窄带干涉滤光片7001530JSL750-25窄带干涉滤光片7501530B. 美国CVI Melles Griot窄带干涉滤光片 相关参数： 选型表：C.美国Andover滤光片 美国Andover公司提供种类非常丰富的窄带和带通滤光片，被广泛应用于各种领域，如：基本激光谱线研究领域、汞灯特征谱线研究领域、生物医学及光谱分析学领域。Andover的滤光片，具有其专利技术，可防止波长随时间的漂移，每个滤光片都配有一个密封铝框，能有效的防碎，防划伤和防潮。主要参数: 1.直径公差：+0/-0.25mm 2.封装： 氧化黑铝合金外框 3.主要尺寸：&Phi 12.5mm，&Phi 25mm，&Phi 50mm （及&Phi 9mm，&Phi 21mm，&Phi 45mm） 4.波长范围：194nm～1550nm 谱线类型： Andover的滤光片，有多种谱线类型，请参看下表，也请在选型时注意相应的谱线类型(MDM=Metal-Dielectric-Metal)：选型表（部分产品）表1：直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）193FS15-12.5193FS15-25193FS15-50193.0± 3.515± 37124200FS10-12.5200FS10-25200FS10-50200.0+3/-010± 27124214FS10-12.5214FS10-25214FS10-50214.0+3/-010± 27124214FS22-12.5214FS22-25214FS22-50214.0± 322± 48204220FS10-12.5220FS10-25220FS10-50220.0+3-010± 27124228FS10-12.5228FS10-25228FS10-50228.0+3-010± 27154228FS25-12.5228FS25-25228FS25-50228.0± 325± 58204232FS10-12.5232FS10-25232FS10-50232.0+3/-010± 27154239FS10-12.5239FS10-25239FS10-50239.0+3-010± 27154239FS25-12.5239FS25-25239FS25-50239.0± 325± 58204248FS10-12.5248FS10-25248FS10-50248.0+3-010± 27124250FS10-12.5250FS10-25250FS10-50250.0+3-010± 27124254FS10-12.5254FS10-25254FS10-50253.7+3-010± 27124254FS25-12.5254FS25-25254FS25-50253.7± 325± 58184260FS10-12.5260FS10-25260FS10-50260.0+3/-010± 27124265FS10-12.5265FS10-25265FS10-50265.0+3/-010± 27124265FS25-12.5265FS25-25265FS25-50265.0± 325± 58204270FS10-12.5270FS10-25270FS10-50270.0+3/-010± 27124280FS10-12.5280FS10-25280FS10-50280.0+3/-010± 27124280FS25-12.5280FS25-25280FS25-50280.0± 325± 58204289FS10-12.5289FS10-25289FS10-50289.0+3-010± 27154297FS10-12.5297FS10-25297FS10-50296.7+3/-010± 27154300FS10-12.5300FS10-25300FS10-50300.0+3/-010± 27154300FS25-12.5300FS25-25300FS25-50300.0± 325± 58204307FS10-12.5307FS10-25307FS10-50307.1+3/-010± 27154307FS25-12.5307FS25-25307FS25-50307.1± 325± 58204310FS10-12.5310FS10-25310FS10-50310.0+3-010± 27154313FS10-12.5313FS10-25313FS10-50313.0+3/-010± 27154313FS25-12.5313FS25-25313FS25-50313.0± 325± 58204320FS10-12.5320FS10-25320FS10-50320.0+3/-010± 23258326FS03-12.5326FS03-25326FS03-50326.1+0.5/-03± 0.52158326FS10-12.5326FS10-25326FS10-50326.1+2/-010± 23258326FS25-12.5326FS25-25326FS25-50326.1± 325± 53258330FS10-12.5330FS10-25330FS10-50330.0+3/-010± 23258334FS10-12.5334FS10-25334FS10-50334.0+2/-010± 23258337FS03-12.5337FS03-25337FS03-50337.1+0.5/-03± 0.52207337FS10-12.5337FS10-25337FS10-50337.1+2/-010± 23257340FS08-12.5340FS08-25340FS08-50340.0+2/-08± 23357340FS10-12.5340FS10-25340FS10-50340.0+3/-010± 23257选型表（部分产品）表2：直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）340FS25-12.5340FS25-25340FS25-50340.0± 325± 53257350FS10-12.5350FS10-25350FS10-50350.0+3/-010± 23257350FS25-12.5350FS25-25350FS25-50350.0± 325± 53257350FS40-12.5350FS40-25350FS40-50350.0± 540± 83257355FS10-12.5355FS10-25355FS10-50355.0+2/-010± 23257360FS10-12.5360FS10-25360FS10-50360.0+3/-010± 23257365FS05-12.5365FS05-25365FS05-50365.0+1/-05± 12207365FS10-12.5365FS10-25365FS10-50365.0+2/-010± 23257365FS25-12.5365FS25-25365FS25-50365.0± 325± 53257370FS10-12.5370FS10-25370FS10-50370.0+3/-010± 23257380FS10-12.5380FS10-25380FS10-50380.0+3/-010± 23257390FS10-12.5390FS10-25390FS10-50390.0+3/-010± 23407400FS10-12.5400FS10-25400FS10-50400.0+3/-010± 23457400FS20-12.5400FS20-25400FS20-50400.0± 220± 43457400FS40-12.5400FS40-25400FS40-50400.0+10/-040± 83457405FS05-12.5405FS05-25405FS05-50404.7+1/-05± 12357405FS10-12.5405FS10-25405FS10-50404.7+2/-010± 23457410FS10-12.5410FS10-25410FS10-50410.0+3/-010± 23457415FS10-12.5415FS10-25415FS10-50415.0+2/-010± 23457420FS10-12.5420FS10-25420FS10-50420.0+3/-010± 23457430FS10-12.5430FS10-25430FS10-50430.0+3/-010± 23457436FS05-12.5436FS05-25436FS05-50435.8+1/-05± 12457436FS10-12.5436FS10-25436FS10-50435.8+2/-010± 23457440FS10-12.5440FS10-25440FS10-50440.0+3/-010± 23457442FS02-12.5442FS02-25442FS02-50441.6+0.2/-01± 0.22358.5442FS03-12.5442FS03-25442FS03-50441.6+0.5/-03± .52408.5442FS10-12.5442FS10-25442FS10-50441.6+2/-010± 23457450FS10-12.5450FS10-25450FS10-50450.0+3/-010± 23457450FS20-12.5450FS20-25450FS20-50450.0± 220± 43557450FS40-12.5450FS40-25450FS40-50450.0+10/-040± 83557456FS10-12.5456FS10-25456FS10-50455.5+2/-010± 23507458FS02-12.5458FS02-25458FS02-50457.9+0.2/-01± 0.22408.5458FS03-12.5458FS03-25458FS03-50457.9+0.5/-03± 0.52458.5458FS10-12.5458FS10-25458FS10-50457.9+2/-010± 23507460FS10-12.5460FS10-25460FS10-50460.0+3/-010± 23507470FS10-12.5470FS10-25470FS10-50470.0+3/-010± 23507480FS10-12.5480FS10-25480FS10-50480.0+3/-010± 23507486FS10-12.5486FS10-25486FS10-50486.1+2/-010± 23507488FS02-12.5488FS02-25488FS02-50488.0+0.2/-01± 0.22458.5选型表（部分产品）表3直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）488FS03-12.5488FS03-25488FS03-50488.0+0.5/-03± .52508.5488FS10-12.5488FS10-25488FS10-50488.0+2/-010± 23557490FS10-12.5490FS10-25490FS10-50490.0+3/-010± 23557800FS10-12.5800FS10-25800FS10-50800.0+3/-010± 23507800FS20-12.5800FS20-25800FS20-50800.0± 220± 43507800FS40-12.5800FS40-25800FS40-50800.0+10/-040± 83507810FS10-12.5810FS10-25810FS10-50810.0+3/-010± 23507810FS20-12.5810FS20-25810FS20-50810.0± 220± 43507820FS10-12.5820FS10-25820FS10-50820.0+3/-010± 23507830FS10-12.5830FS10-25830FS10-50830.0+3/-010± 23507830FS20-12.5830FS20-25830FS20-50830.0± 220± 43507840FS10-12.5840FS10-25840FS10-50840.0+3/-010± 23507850FS10-12.5850FS10-25850FS10-50850.0+3/-010± 23507850FS20-12.5850FS20-25850FS20-50850.0 ± 220± 43507850FS40-12.5850FS40-25850FS40-50850.0+10/-040± 83507860FS10-12.5860FS10-25860FS10-50860.0+3/-010± 23507870FS10-12.5870FS10-25870FS10-50870.0+3/-010± 23507880FS10-12.5880FS10-25880FS10-50880.0+3/-010± 23507890FS10-12.5890FS10-25890FS10-50890.0+3/-010± 23507100FS10-12.5100FS10-25100FS10-501000.0+3/-010± 23458.5100FS20-12.5100FS20-25100FS20-501000.0± 220± 43458.5100FS40-12.5100FS40-25100FS40-501000.0+10/-040± 83458.5014FS10-12.5014FS10-25014FS10-501014.0+2/-010± 23458.5046FS10-12.5046FS10-25046FS10-501046.0+2/-010± 23458.5050FS10-12.5050FS10-25050FS10-501050.0+3/-09± 23458.5064FS02-12.5064FS02-25064FS02-501064.0+0.2/-.01± 0.22408.5064FS03-12.5064FS03-25064FS03-501064.0+0.5/-.03± .52458.5064FS10-12.5064FS10-25064FS10-501064.0+2/-010± 23408.5110FS10-12.5110FS10-25110FS10-501100.0+3/-010± 23408.5115FS10-12.5115FS10-25115FS10-501150.0+3/-010± 23408.5120FS10-12.5120FS10-25120FS10-501200.0+3/-010± 22358.5125FS10-12.5125FS10-25125FS10-501250.0+3/-010± 22358.5130FS10-12.5130FS10-25130FS10-501300.0+3/-010± 22358.5130FS20-12.5130FS20-25130FS20-501300.0± 320± 53358.5 备注：以上选型表中是Andover紫外和红外的常规滤光片， 可见光部分及其他种类滤光片，型号非常多，由于篇幅限制，不能全部列出，有需求可以联系我们。

中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）白光干涉三维形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。