上游工艺

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上游工艺相关的资讯

  • 默克收购Erbi Biosystems,进一步提升上游工艺技术能力
    12月6日,默克收购总部位于美国马萨诸塞州的Erbi Biosystems公司,该公司凭借其开发的名为Breez™的2毫升微型多联灌流生物反应器而闻名业界。通过收购,默克将进一步拓展其在上游蛋白质制剂的产品能力,提供从2毫升到2000升可扩展不同工作体积的细胞灌流生物反应器。与此同时,该收购将为默克提供未来在细胞治疗等新型治疗领域的应用机会。具体金额尚未披露。默克生命科学业务工艺解决方案事业部全球负责人Darren Verlenden表示:“Erbi公司开发的Breez™是市场上为数不多的微型、全自动、封闭式连续灌注细胞培养平台技术之一。该产品的占地面积较其他生物反应器平台要小得多,将Breez™加入到默克庞大的Mobius® 组合,我们将为客户提供各种规模的生物反应器、细胞截留系统和设备,以及细胞培养基。当下有整体解决方案的连续流工艺备受青睐,这次收购将提升默克上游工艺的技术能力,并进一步加快细胞灌流培养的成功率。”Erbi Biosystems总裁兼首席执行官Michael Chiu表示:“我们十分期待加入默克,相信Erbi在生物工艺开发领域的专长将使默克Mobius®系列更为完善,助力治疗性生物药品的研发。”Breez™微生物反应器平台技术进一步扩充了默克BioContinuum™平台的上游产品组合,该上游产品组合涵盖连续流生物工艺开发所需的细胞培养、细胞截留和生物反应器解决方案。作为默克强大的上游生态系统的一部分,Breez™将通过自动化推动默克生物工艺开发技术的革新。相较于其他台式系统,革新后的操作通量将提升四倍,开发出高性能的连续流工艺,从而降低生产成本,加速商业化进程。相较于市场上其他具备竞争优势的生物反应器平台,其工作台占用空间更小,且无需生物安全柜。默克已于2022年12月1日完成对Erbi Biosystems的收购。这次收购Erbi Biosystems, 是默克通过针对性地收购颇具影响力的中小型企业,加速默克工艺解决方案业务创新的又一个里程碑式见证。默克的工艺解决方案事业部与生命科学服务业务是默克三大重要增长引擎之一,默克计划实现2025年全球收入达到250亿欧元。Merck默克默克是一家全球领先的科技公司,专注于医药健康、生命科学和电子科技三大领域。全球超过60,000名员工服务于默克,通过创造更加愉悦和可持续性的生活方式,为数百万人的生活带来积极的影响。从先进的基因编辑技术和发现治疗具有挑战性疾病的独特方法,到实现设备的智能化——默克无处不在。2021年,默克在66个国家的总销售额达197亿欧元。科学探索和负责任的企业精神一直是默克科技进步的关键,也是默克自1668年以来永葆活力的秘诀。默克家族作为公司的创始者至今仍持有默克大部分的股份,我们在全球都叫“默克”,仅美国和加拿大例外。默克的三大领域:医药健康、生命科学及电子科技在这两个国家分别称之为“EMD Serono”、“MilliporeSigma”和“EMD Electronics”。Erbi BiosystemsErbi Biosystems正通过Breez™革新细胞治疗和生物处理工艺开发领域。Breez™是一种全自动2毫升TruePerfusion™生物反应器,能够将所需的熟练劳动力缩减1/3以上。该系统使用了一次性、全封闭性盒式装置减少90%的占地面积,采用专利微流控技术工艺,能够执行激活、转导、加快细胞生长和实现渗滤步骤。它还能够对pH、总细胞密度(OD)、溶解氧和二氧化碳进行闭环控制。该系统集成了在线传感器和可视化软件,能够直观的让客户了解细胞灌流培养策略、提高细胞密度、降低剪力,并实现高kLa的无气泡混匀方式,性能远超目前通常使用的台式反应器。一个2毫升工作体积的盒式装置就能实现400M(CHO和T细胞)细胞培养的效果,满足大多数开发需求和多种 CAR-T 临床方案剂量需求。Erbi Biosystems位于马萨诸塞州剑桥北部的研发和生产基地的面积达10,000平方英尺。公司业务范围遍及美国、欧洲和中国。2021年,公司员工人数翻番。随着该公司开发出满足临床生产需求的GMP系统,预计该公司于2022年仍将保持强势增长。
  • 生物工艺解决方案须“软”“硬”结合,双重驱动更有成效——访赛多利斯数据分析负责人Mark Demesmaeker、上游产品应用支持经理杨威
    p style=" text-align: justify " strong ——生物工艺解决方案须“软”“硬”结合,双重驱动更有成效 /strong /p p style=" text-align: justify "   3月21日-22日,“2019中国国际生物制药4.0峰会(China International Biopharma 4.0 Summit,CIBP 4.0)”在上海万豪虹桥大酒店成功举办。本次峰会立足于中国生物制药行业的实际情况,探讨业内人士比较关心的政策法规,一次性制药系统使用法规,最新的技术动向以及未来的发展趋势和分享商业模式创新热点等。 /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201904/uepic/2b39f026-4f4f-4809-a9c4-7296ef76bb0f.jpg" title=" 生物制药4.0会议现场.jpg" alt=" 生物制药4.0会议现场.jpg" width=" 482" height=" 278" style=" width: 482px height: 278px " / /p p style=" text-align: center " strong span style=" text-align: justify " 会议现场 /span /strong /p p style=" text-align: justify "   会议期间,仪器信息网采访了赛多利斯全球数据分析负责人Mark Demesmaeker和赛多利斯中国上游产品应用支持经理杨威,请他们分别对赛多利斯生产过程中的数据管理与生物工艺解决方案进行了详细介绍。 /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201904/uepic/76ecec49-f755-468a-908a-89bb5f5f81b0.jpg" title=" 微信图片_20190402140856.jpg" alt=" 微信图片_20190402140856.jpg" width=" 468" height=" 467" style=" width: 468px height: 467px " / /p p style=" text-align: center " strong span style=" text-align: justify " 赛多利斯中国上游产品应用支持经理 杨威(左)和赛多利斯全球数据分析负责人 Mark Demesmaeker(右) /span /strong /p p style=" text-align: justify "    span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 仪器信息网:请谈谈您对生物制药行业的发展趋势有何看法? /strong /span /p p style=" text-align: justify "    strong Mark Demesmaeker: /strong 生物制药产业在过去30年的发展过程中,伴随着突破性核心技术的不断涌现,赛多利斯持续关注抗体药物、生物仿制药领域,现在开始关注细胞治疗、免疫药物治疗等新型细胞治疗方法。就大趋势而言,生物制药行业不断发展的整体驱动力来自以下方面:首先是让更多病患用得起这些相对高端的生物制药,从而驱动越来越多的生物制药企业降低生物药物的生产制造成本。另外面对日益竞争激烈的生物制药市场,生物制药企业需要利用先进的技术及先进的工艺开发及生产平台加快药物的研发上市进程,这些驱动了企业在生物制药研发生产过程中利用有效的解决方案及工具去进一步优化生产工艺,加快工艺研发生产的进程并提高其生产效率,从而在保证药品质量的前提下快速进入市场,同时有效的控制生产成本。与此同时,监管部门对QbD理念的推行也是一种驱动力,其目的是为了让更多的制药企业采用QbD的理念进行药物的开发及生产制造,既能够保证药物从研发到申报以及最终的商业化生产整个过程的严格可控,又能够为广大病患及时的提供有效的且能负担起的治疗药品。 /p p style=" text-align: justify "    span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 仪器信息网:赛多利斯的上游工艺解决方案包括哪些内容?如何满足生物制药企业的需求? /strong /span /p p style=" text-align: justify " strong   杨威: /strong 生物制药的整体生产过程包括很多操作单元,也是相对比较复杂的过程。而上游生产工艺作为关键的工艺单元直接影响整个药物产品的质量。赛多利斯针对上游工艺提供完整的解决方案,覆盖了从初始细胞株的构建和筛选,培养基的开发和优化,细胞培养工艺放大及表征,工艺验证及商业化生产,首先ambr平台的高通量微型生物反应器ambr 15系统,通过其高动量自动化,以及生物反应器的控制条件快速有效的筛选到理想的细胞株,以及与之匹配的培养基。另外在工艺开发的阶段,ambr 平台的 ambr 250HT、ambr 250 perfusion, 250 modular等系列高通量工艺开发工具,可以帮助客户快速找到稳定的、可放大的、有效的细胞培养工艺 在中试和生产规模BIOSTAT STR系列的一次性生物反应器,从12.5L-2000L的工作体积,遵循传统生物反应器设计的搅拌及通气系统能够帮助客户快速将其工艺放大至中试及生产规模,加速进入临床与商业化生产阶段。除此之外,先进的PAT(过程分析技术)技术能够加深客户对细胞培养工艺的理解及控制,结合Umetrics这样的数据分析管理工具。赛多利斯能够帮助生物制药企业在其研发生产制造过程中真正的实施QbD,从而建立有效的完整的上游细胞培养工艺,加快进入市场。国内获批的第一家国产PD-1 药物,其上游工艺就是采用赛多利斯的上游解决方案,我们期望通过赛多利斯强有力的上游整体解决方案帮助国内生物制药企业生产制造出老百姓用得起的好药! /p p style=" text-align: justify "    span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 仪器信息网:在生物制药领域,对于研发阶段和放大生产工艺阶段,细胞培养的区别有哪些?针对一次性的细胞培养技术,赛多利斯有哪些优势的方案? /strong /span /p p style=" text-align: justify " strong   杨威: /strong 目前在生物制药的研发阶段的用户会侧重关注于通量和有效性,即在短时间内快速找到稳定的细胞培养工艺 同时要具备可放大性,这在工艺开发阶段是至关重要的。实验室规模的反应器要具备高通量能力,在短期内执行较多的实验,找到核心工艺参数 另外,实验室规模反应器一定要具备可放大性模型的基础,可以将培养工艺快速有效放大到中试及商业化生产中。 /p p style=" text-align: justify "   对于生产阶段,在已确定的合理生产工艺基础上,重要的是如何保证该工艺在整个生产周期中是稳定、安全的进行。针对一次性的生产线,一方面要考虑工艺设备的硬件稳定性、有效性与合规性,同时要考虑一次性耗材对细胞生产的影响,一次性耗材的稳定性以及严格可控的溶出物和可提取物,当然还要有持续稳定的供应链保障。 /p p style=" text-align: justify "   除了上面提到的ambr 微型生物反应器平台和BIOSTAT STR一次性生物反应器系列,Flexsafe 膜是赛多利斯针对生物制药应用开发的独特的膜材,优化的树脂原料配方,优化的膜挤出工艺极大的提高了该膜材的强度和柔韧性,其制成的一次性细胞培养袋已经得到了广大生物制药企业的认可。 /p p style=" text-align: justify "    span style=" color: rgb(0, 112, 192) " strong 仪器信息网:不论是法规监管部门还是生物制药企业都越来越重视药物从工艺开发到商业化生产阶段的数据管理,赛多利斯是否有相关的数据管理解决方案?是如何帮助生物制药公司提高其生产制造能力的? /strong /span /p p style=" text-align: justify " strong   Mark Demesmaeker: /strong 目前越来越多的一次性的解决方案被应用到生物制药领域当中。作为一次性技术的领导者,赛多利斯同样拥有数据管理的解决方案,赛多利斯于2017年收购了Umetrics 自动化软件公司,在过去两年内我们也取得了很大的成绩。收购该公司的目的是希望通过Umetrics的数据分析和管理,系统化监控和管理整个生物制造过程中涉及的生产工艺。过去我们通常只关注于pH、溶氧、搅拌等基础空间工艺参数,其实在动物细胞培养整体过程中有很多关于细胞代谢背后的相关信息,那么如何分析产物质量与细胞培养工艺的关键工艺参数以及细胞代谢行为之间的关系?Umetrics的数据分析平台,可以将上述所有细胞培养信息以及关键工艺参数信息通过数理统计的方法,建立起相应模型,对生产过程具有一定的监控、预测能力,从而提高生物制药生产过程中的有效性,这是Umetrics能够帮助生物制药企业做的贡献。 /p p style=" text-align: justify "    strong 杨威: /strong 赛多利斯可以提供有效的数据解决方案,覆盖整个生物制药生产流程环节,包括生物工艺上游、下游和原材料质量控制等这些均会对药品的质量产生直接影响的环节。 /p p style=" text-align: justify "   数据管理主要的驱动力有两个方面,首先是制药企业内部的驱动力,要降低成本,需要有效保证其生产,这就要求对数据进行很好的收集和分析能力,通过数据才能提高工艺,降低其成本。另一方面,对相关法规的监管部门的驱动力而言,通过数据管理能有效的监管企业是在符合法规的条件下生产出质量合格的药品。因此生物制药企业和监管部门对数据管理提出了需求。赛多利斯Umetrics的管理服务内容能够帮助客户以科学有效的管理方式,取得有效的数据,另外将这些数据通过数学统计方法建立起有效的模型,从而有效的指导工艺开发和商业化生产。同时,该数据管理平台可以帮助制药企业有效的通过相关监管部门的审批及监管。 /p p style=" text-align: center " span style=" text-decoration: underline " & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp /span & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp & nbsp br/ /p p style=" text-align: center " strong 仪器信息网生命科学官微“ span style=" color: rgb(192, 0, 0) " 3i /span span style=" color: rgb(0, 112, 192) " 生仪社 /span ”上线啦!& nbsp /strong /p p style=" text-align: center " strong 关注进群了解更多生命科学干货资讯! /strong /p p style=" text-align: center" img src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201904/uepic/dee21b66-f041-49ec-a20d-613e3d787166.jpg" title=" 新 公号icon.jpg" alt=" 新 公号icon.jpg" / /p p style=" text-align: center " br/ /p p br/ /p
  • 默克中国上游技术研发中心在沪落成
    (开业典礼启动仪式从左至右:默克亚洲区生物工艺上游市场经理蔡曼君女士 默克全球生物工艺上游市场经理Christian Martin先生 浙江特瑞思药业股份有限公司副总裁冉兆祥先生 默克生命科学生物工艺研发副总裁兼全球负责人David Beattie先生 默克生命科学生物工艺副总裁兼亚太地区负责人Benoit Opsomer先生 默克生命科学工艺解决方案中国区总经理王慕阳女士 药明生物生物制药和生物工艺部主任董慧芳女士 默克全球上游工艺研发部负责人Zack Deeds先生 默克中国上游研发中心负责人韩向宗先生)(外场合影)2018年11月14日,伴随着默克中国上游技术研发中心开业典礼暨学术论坛的圆满落幕,默克正式宣布其中国上游技术研发中心在上海张江高科技园区顺利落成。该中心将SAFC® 的全球研发能力和质量管理体系引入中国,为中国生物制药客户提供高质量的定制化培养基开发服务,以满足更高产量和质量的需求。 SAFC® 一直以来都是全球工业培养基的领导品牌,并为多个全球重磅单抗药提供定制化培养基研发及生产服务。位于上海张江高科技园区的默克中国上游技术研发中心完整承接了SAFC® 培养基库,多变量分析以及高通量分析模型等SAFC® 全球定制化培养基开发技术核心,至2019年底将在国内拥有超过二十位科学家,其服务涵盖高通量筛选/分析,培养基开发/优化以及化学分析等,为国内生物制药客户搭建接轨国际高品质的定制化培养基服务平台。(默克生命科学生物工艺副总裁兼亚太地区负责人Benoit Opsomer先生致开幕词)(默克生命科学生物工艺研发副总裁兼全球负责人David Beattie先生致开幕词)(默克生命科学工艺解决方案中国区总经理王慕阳女士致开幕词)(中国(上海)自由贸易试验区商务委员会上海市浦东新区商务委员会副主任陆启星先生致开幕词)(药明生物生物制药和生物工艺部主任董慧芳女士致开幕词)(浙江特瑞思药业股份有限公司副总裁冉兆祥先生致开幕词)(默克生命科学亚洲区生物工艺上游市场经理蔡曼君女士主持开业典礼)(默克中国上游研发中心负责人韩向宗先生) 默克生命科学生物工艺副总裁兼亚太地区负责人Benoit Opsomer先生,默克生命科学生物工艺研发副总裁兼全球负责人David Beattie先生以及默克生命科学工艺解决方案中国区总经理王慕阳女士为开业典礼致开幕词,他们表示:“未来几年单抗市场的快速增长预期将驱动中国细胞培养基市场以每年17%的复合增长率增长,默克作为全球领先的生物制药解决方案提供者,将SAFC® 核心研发技术带到中国,通过本地化的生产和服务以及合作模式,以达到快速响应中国客户的研发和快速测试需求,助力中国单抗市场的蓬勃发展。”中国(上海)自由贸易试验区商务委员会/上海市浦东新区商务委员会副主任-陆启星先生,浙江特瑞思药业股份有限公司副总裁-冉兆祥先生以及药明生物生物制药和生物工艺部主任-董慧芳女士作为政府及客户方代表来到现场,带来了真挚的祝福和寄语。(默克中国上游技术研发中心) 紧接着盛大的开业盛典,默克上游技术学术论坛随即举办。首先来自默克全球上游工艺研发部负责人Zack Deeds先生就默克上游全面的研发能力进行了详尽的阐述。随后来自默克全球生物工艺上游市场经理Christian Martin先生、复宏汉霖上游工艺总监徐翠云女士、默克中国上游研发中心负责人韩向宗先生、四川科伦细胞培养总监李明雄先生以及默克生命科学亚太区法规经理李峰先生先后带来了《上游工艺开发前沿进展》、《培养基开发及优化的挑战及解决策略》、《数据驱动的培养基开发策略》、《单抗领域上游工艺策略及关键参数控制》以及《上游工艺法规探讨: 细胞基质, 培养基以及灌流工艺》的技术内容分享,现场反响热烈。 至此默克中国上游技术研发中心开业典礼暨学术论坛圆满落幕,此次活动不仅为大家带来了默克中国上游技术研发中心落成的喜讯,也进一步加深了默克与行业内各企业的沟通、交流、紧密协作。

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  • 可比性研究对上游和下游工艺开发的支持——默克密理博生物制药工艺基础课堂九

    http://img3.17img.cn/bbs/upfile/images/20100518/201005181701392921.gif可比性研究对上游和下游工艺开发的支持——默克密理博生物制药工艺基础课堂九讲座时间:2014年10月23日 10:00 主讲人:朱蓉蓉在加州大学戴维斯分校的物理化学系完成了所有博士学位的课程和资格考试,获得ABD 资格。现默克密理博生物分析部的高级科学家。 建立了许多先进的分析方法和技术。在小分子、蛋白质和抗体药的生物物理及生化特性的研究领域,从发现到投入商业化,具有20多年的资深经验。http://img3.17img.cn/bbs/upfile/images/20100518/201005181701392921.gif【简介】 生物蛋白药制造工艺的变化往往会造成产品质量的变化。因此,在工艺变更时必需进行可比性研究,以确保生产工艺的变化不影响生物药的质量,安全性和有效性。建立产品质量和工艺参数之间的相关性,可以最好地帮助我们了解制造工艺,并协助上游和下游工艺的开发。在这次讲座中,将会举例讲述上游工艺过程的变化(细胞系,细胞培养基和收获时间)如何影响产品质量。也将提出如何改善下游工艺可以提高单克隆抗体产品的质量(包括低聚合体和较低的工艺相关杂质)。-------------------------------------------------------------------------------1、报名条件:只要您是仪器网注册用户均可报名参加。2、报名并参会用户有机会获得100元手机充值卡一张哦~3、报名截止时间:2014年10月23日 9:304、报名参会:http://simg.instrument.com.cn/meeting/images/20100414/baoming.jpg

  • 在线讲座之爱默学堂:上游细胞培养工艺中灌流技术探讨

    在线讲座之爱默学堂:上游细胞培养工艺中灌流技术探讨

    [align=center][img]http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09504.gif[/img][/align][align=center][b][color=#3366ff]【推荐讲座】[/color][/b]上游细胞培养工艺中灌流技术探讨(9月5日14:00)[/align][align=center][color=#3366ff][b]报名抢座位:[/b][/color][url=http://www.instrument.com.cn/webinar/Meeting/meetingInsidePage/2812][b][color=#3366ff][/color][/b][/url][url]http://www.instrument.com.cn/webinar/Meeting/meetingInsidePage/2812[/url][/align][align=center][b][color=#3366ff]内容简介:[/color][/b]灌流培养结合一次性连续流工艺作为治疗型抗体行业的新趋势被广泛讨论。本课程中我们将结合一次性技术探讨灌流培养工艺的应用特点,关键参数优化,工艺开发和放大策略等,为您的上游培养工艺提供除Fed-batch 之外的另一种选择。[/align][align=center][b][color=#3366ff]讲师介绍:[/color][/b]王晖,默克生命科学工艺解决方案资深工艺工程师经理,默克全球生产科学和技术团队成员, 主要负责大中国区上游技术,上下游生产过程中一次性和不锈钢系统的应用实施。具有超过十年生物制药行业微生物/细胞培养,系统设计,过程放大,问题解决经验。王晖先生毕业于华东理工大学,发酵工程硕士学位 。[/align][align=center][b][color=#3366ff]内容速览[/color][/b][/align][align=center][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241125_01_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241125_02_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241125_03_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241125_04_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241125_05_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241125_06_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241126_01_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241126_02_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241126_03_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241126_04_2507958_3.jpg[/img][img=,690,388]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707241126_05_2507958_3.jpg[/img][/align][align=center]报名抢座位:[url]http://www.instrument.com.cn/webinar/Meeting/meetingInsidePage/2812[/url][/align]

  • 真空度(气压)控制:上游模式和下游模式的特点以及新技术

    真空度(气压)控制:上游模式和下游模式的特点以及新技术

    [size=14px][color=#cc0000]摘要:本文详细介绍了真空系统中上游和下游控制模式的特点以及在应用中存在的问题,并介绍了上下游模式同时使用的双向控制新技术,新技术可有效发挥上下游控制模式的优点和抑制缺点。[/color][/size][size=14px][/size][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [b][color=#cc0000]1. 真空度(压力)控制概述[/color][/b][size=14px][/size]  在许多真空系统中,为了实施特定的工艺过程或达到一定的实验条件,需要真空系统中的真空度恒定在特定以及关键的设定值,这就需要对真空系统内的真空度进行控制。真空度控制一般通过上游模式(upstream model)、下游模式(downstream model)和两种模式结合的方法实现。业内一般将上游模式定义为控制输入真空系统的气体,下游模式定义为控制泵送系统的节流,即以真空系统为参照物,真空系统上游的进气控制为上游模式,真空系统下游的出气控制为下游模式。[size=14px][/size]  无论是自动的上游控制还是下游控制,都需要电动控制阀来实现。在目前国内外真空系统的真空度控制过程中,由于技术的限制,绝大多数还都是采用单一控制方式,即或是上游模式,或是下游模式。但随着双向控制技术的突破,可以实现上下游模式的同时控制。[size=14px][/size]  本文详细介绍了真空系统中上下游真空度控制模式的特点以及在应用中存在的问题,介绍了双向控制技术的特点。[size=14px][/size][b][color=#cc0000]2. 上游控制模式(Upstream Model)[/color][/b][size=14px]  如图2-1所示,上游控制模式是一种控制系统中压力的方法,在该系统中,气体流入腔室,通常由电动控制阀进行控制。[/size][align=center][size=14px][img=,500,421]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/01/202101042202534200_9124_3384_3.png!w690x582.jpg[/img][/size][/align][align=center][size=14px][color=#cc0000]图2-1 上游控制模式示意图[/color][/size][/align][size=14px][/size]  上游真空度(压力)控制器维持真空系统本身上游的压力,在真空泵抽速一定的情况下,增加进气流量以降低压力,减少进气流量以增加压力。因此,这称为反向作用,该配置在行业中通常称为背压调节器。[size=14px][/size]  在真空度(压力)上游模式控制期间,控制阀将以特定的速率注入气体,同时还与控制器通信。如果从控制器接收到不正确的输出电压(意味着压力不正确),控制阀将调整流量。压力过高,控制阀会降低流量,压力过高,控制阀会提高流量。[size=14px][/size]  上游模式具有以下特点:[size=14px][/size]  (1)可提高真空系统中工艺的稳定性和速度;[size=14px][/size]  (2)使用快速作用控制阀,将控制仪器放置在真空系统的上游可提供更快的响应时间和更好的稳定性。上游模式还消除了对附加阀的需求,减少了系统中潜在泄漏点的数量,减少了下游设备的需求并降低了安装成本。例如在真空镀膜应用中,将压力控制装置放置在腔室的上游可以节省时间,成本,并提高真空沉积工具的精度。[size=14px][/size]  (3)很多真空工艺,如等离子熔炼和真空沉积等,都使用了下游控制模式来维持真空室内的气体压力,而节流阀的使用会有几万元的配置,并还需要一个单独的控制模块来为阀门供电、提供PID数据和设定点功能。因此,上游模式有时可有效的降低真空系统的造价成本。[size=14px][/size]  (4)由于下游真空泵不受控制,一般都以较大的抽速运行,这就造成在单独使用上游模式时会出现比较费气的现象,特别是在工艺气体为较贵的高纯惰性气体时尤为明显。[size=14px][/size][b][color=#cc0000]3. 下游控制模式(Downstream Model)[/color][/b][size=14px]  如图3-1所示,下游控制模式是一种控制真空系统内部压力的方法,其中抽气速度是可变的,通常由真空泵和腔室之间的控制阀实现。[/size][align=center][size=14px][img=,500,418]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/01/202101042203517636_9658_3384_3.png!w690x578.jpg[/img][/size][/align][align=center][size=14px][color=#cc0000]图3-1 下游控制模式示意图[/color][/size][/align][size=14px][/size]  下游控制模式是维持真空系统下游的压力,增加流量以增加压力,减少流量以减少压力,因此,这称为直接作用,这种控制器配置通常称为标准压力调节器。[size=14px][/size]  在真空度(压力)下游模式控制期间,控制阀将以特定的速率限制真空泵抽出气体,同时还与控制器通信。如果从控制器接收到不正确的输出电压(意味着压力不正确),控制阀将调整抽气流量。压力过高,控制阀会提供抽气流量,压力过低,控制阀会降低流量。[size=14px][/size]  下游模式具有以下特点:[size=14px][/size]  (1)下游模式作为目前最常用的控制模式,通常在各种条件下都能很好地工作;[size=14px][/size]  (2)但在下游模式控制过程中,其有效性有时可能会受到“外部”因素的挑战,如入口气体流速的突然变化或等离子体事件的开启或关闭。此外,某些流量和压力的组合会迫使节流阀在等于或超过其预期控制范围的极限的位置上运行。在这种情况下,精确或可重复的压力控制都是不可行的。或者,压力控制可能是可行的,但不是以快速有效的方式,结果造成产品的产量和良率受到影响。[size=14px][/size]  (3)在下游模式中,会在更换气体或等待腔室内气体沉降时引起延迟。[size=14px][/size][b][color=#cc0000]4. 双向控制模式(Bidirectional Model)[/color][/b][size=14px][/size]  通过上述两种控制模式的特点可以看出,两种模式各有优缺点。目前在真空度控制中常用的方法是以下游控制模式为主控方法,同时在真空系统的上游设置几个控制档位来控制进气流量,由此来最大限度发挥两种模式的优点,但这种控制方式还无法实现全自动化。[size=14px]  随着自动化控制技术的发展,目前上海依阳公司已经开发出双向自动控制技术,其结构图4-1如所示。[/size][align=center][size=14px][img=,500,414]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/01/202101042205187960_2317_3384_3.png!w690x572.jpg[/img][/size][/align][size=14px][/size][align=center][color=#cc0000]图4-1 双向控制模式示意图[/color][/align][size=14px][/size]  这种双向控制模式可以最大限度发挥控制优势,节省时间和成本,并提高真空工艺的效率和质量。[size=14px][/size][align=center]=======================================================================[/align][size=14px][/size][size=14px][/size][size=14px][/size][size=14px][/size][size=14px][/size][size=14px][/size][size=14px][/size]

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