微量杂质

MidiLab9000-CSI 电子级试剂金属杂质含量在线分析系统是一款用于半导体厂务及FAB产线中电子级湿化学品金属杂质含量的在线监测系统，提供电子级湿化学品“采样-传输-稀释-标曲-内标-进样-分析-报告”全流程解决方案。“多”—集中或分布式采样点20个以上“快”—单个样品分析和异常复测15分钟“好”—无阀流路设计，ppt级流路本底“省”—省人，全自动在线分析；省心，自动在线配制标曲，效率提升100%；省成本，高纯试剂用多少配多少，无需清洗配标容器，高纯试剂消耗量几乎降为0应用于半导体湿电子化学品金属杂质在线检测

GC-9280型氦离子化气相色谱仪所配置的脉冲放电氦离子化检测器（PDHID)是一咱灵敏度极高的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析，是唯一能够检测至ng/g(ppb)级的检测器。 氦离子化气相色谱仪检测限：检测限（ppb）：一般杂质杂货种类H2O2（Ar）N2CH4COCO2检测限510105255碳氢化合物杂质种类C2H4C2H6C3H6C3H8C4H8C4H10iC4H10检测限20202020202020 氦离子化气相色谱仪工作原理： PDHID 是利用氦中稳定的，低功率脉冲放电作电离源，使被测组分电离 产生信号。PDHID是非放射性检测器， 对所有物质均有高灵敏度的正响应。1． 脉冲放电间隔和功率：PDHID 中放电电极距离为 1.6mm，改变充电时间可改变经过初 级线圈的放电功率。充电时间越长、功率越大。一般脉冲间隔为200-300μs,充电时间在 40-45μs，基流和响应值达最佳。因放电时间仅为 1μs，而脉冲周期达几百微秒，绝大部分时间放电电极是空载；所以放电区不会过热。2． 偏电压： 在放电区相邻的电极上加一恒定的负偏电压。响应值随偏电压的增加而急剧增大，很快即达饱和。在饱和区响应值基本不随偏电压而 改变。PDHID 在饱和区内工作，噪声较低。基流与偏电压的关系同 响应值与偏电压。3． 通过放电区的氦流速：氦通过放电区有两个目的：a 保持放电区的洁净，以便氦被激发； b 它作为尾吹气加入，以减少被测组分在检测器的滞留时间。只是它 和传统的尾吹气加入方向相反。池体积为 113ul，对峰宽为 5s 的色 谱峰，要求氦流速为 6.8-13.6ml/min，如果峰宽窄至 1s，流速应提高 到 34-68ml/min，以保持被测组分在检测器的滞留时间短至该峰宽的10%-20%。4． 电离方式和性能特征：PDHID 的电离过程有三部分组成：a 氦中 放电发射出 13.5-17.7eV 的连续辐射光进行光电离；b 被高压脉冲加 速的电子直接电离组分 AB，产生信号，或直接电离载气和杂质产生 基流；c 亚稳态氦与组分反应电离产生信号，或与杂质反应电离产生基流.lHP-2 氦气纯化器： 纯化器 Valco 氦气（HP）纯化器的纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层 氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性 气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散， 防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸 附。HP 的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两 个温度控制范围。 纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 最大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等残留浓度：≤10ppb VALCO 吹扫型十通 吹扫型十通阀，阀平面始终处于载气的氛围中，切 换时无空气渗漏而混入样品之中。无死体积取样阀 GC-9280氦离子气相色谱仪配备了无死体积的专用取样阀，将取样过程对分析的影响降至最低的水平，取样时采用带吹扫保护的进样方式，有效的避免了空气混入的问题。 氦离子化气相色谱仪-技术特点 项目名称技术特点检测器的灵敏度、线性重复 性等PDHID检测器，其检测限可达 ng/g（ppb）级，是目前灵敏度最高的通用型检测器，对几乎所有的无机气体和有 机物均有很高的相应。分析流程的适用范围和功能采用了可以满足高纯气体的全分析，具有切割及反吹功能，全分析流程进样阀及切换阀切换时空气 的渗漏问题配备了吹扫型阀，阀平面始 终处于载气的氛围中，切换时无空气渗漏而混入样品之中氦气纯化器配备了氦气纯化器，可以将载气中除惰性杂质成份纯化到 10ppb 以下样品的取样方式对分析的影响配备了无死体积的专用取 样阀，取样时采用带吹扫保护的进样方式，有效的避免了空气混入的问题色谱柱对分析的影响所配备的色谱柱采用惰性材质制作，避免了硫化物吸附等问题的产生气路管道及色谱柱内壁材质 对分析的影响所采用的气路管线及色谱柱管材，在 316L（EP）的基础上内壁均做了钝化处理，防止吸附问题的产生 技术指标柱温箱控温范围室温+5℃~450℃；温度设定精度0.1℃程序升温速度60℃/min程升阶数8阶程序升温程升速率0.1~120℃/min（增量0.1℃）最大运行时间999.99分钟可运行柱流失补偿（双通道）加热区6个独立控制加热区控制（不包括炉箱温控，两个进样口、两个检测器、；两个辅助加热区辅助加热区使用温度300℃检测器氦离子化检测器 放电模式：脉冲放电基线噪声：≤0.1mv 基线漂移：≤0.5mv/30min 检测限：≤1.0×10-10g/ml载气纯化器 可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等 残留浓度：≤10ppb

型号ST-1540ST-1540机械杂质测定仪适用于测定石油产品中的各类轻、重质油、润滑油及添加剂的机械杂质的含量。根据GB/T511《石油产品和添加剂机械杂质测定法（重量法）》设计制造的专用仪器。可广泛应用于电力、石油、化工、高校、商检及科研等部门。 生产厂家北京旭鑫仪器设备有限公司 功能特点l 液晶屏汉字显示l 采用新的单片微机技术l 实现按标准要求的升温速率，温度升温快l 精密铂电阻作为测量元件，控温精度高l 具有恒温功能，自动化程度高，操作简单技术参数适用标准GB/T511控温范围室温～100℃控温精度±1℃显示方式液晶汉字显示加热功率300W相对湿度10%～80%Rh环境温度5℃～45℃电源电压220V±10％ 50Hz