质谱射频电源设计

为满足半导体设备客户的需求，中科院射频电源组(www.rf-power.net)经过2个月的设计研发，于2013年3月正式推出固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列)，此型号适用于大腔室刻蚀等半导体设备。此型号带有RS232/RS485/USB通讯协议，模拟口通讯，脉冲调制，相位同步与移相等功能。 固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列) 　　中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源，获得“ 六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。 　　从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下，研发晶体管射频电源(13.56MHz)，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源，获得第七届国际发明展览会银奖。 　　经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全, 目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。 　　年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。 　　目前射频电源组，实行组长负责制，下设三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。 　　产品研发部：实行部长负责制，有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。 　　产品生产部：实行部长负责制，有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD，EMC等测试)，年生产能力达3000台套，库房常年备有库存，可保证给客户随时发货。 　　产品推广与售后服务部：实行部长负责制，有专业推广销售人员4人，专业售后服务人员2人，其中硕士及以上比例100%。 　　射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，射频感应加热，医疗领域的消毒与理疗美容，常压等离子体消毒清洗等领域。 　　中国科学院微电子研究所射频电源组网址：www.rf-power.net

中国科学院微电子所射频电源(RFGenerator)课题组(www.rf-power.net)从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源，获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。 　　从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下，研发晶体管射频电源(13.56MHz)，2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源，获得第七届国际发明展览会银奖。 　　经过二十多年的发展完善，产品的性能不断提高，规格齐全,目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。 　　目前射频电源组分为三个部门：产品研发部，产品生产部，产品推广与售后服务部。 　　产品研发部：有专业研发人员7人，其中硕士及以上比例100%，具有教授级职称2人，具有博士学历3人，从清华大学，中科院电工所，中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3人，目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化研发人才团队。 　　产品生产部：有专业技术工程师17人，具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD，EMC等测试)，年生产能力达3000台套，库房常年备有库存，可保证给客户随时发货。 　　产品推广与售后服务部：有专业推广销售人员4人，专业售后服务人员2人，其中硕士及以上比例100%。 　　射频电源广泛应用于等离子体研究，集成电路工艺设备，太阳能光伏工业，LED制程，薄膜生长，射频感应加热，医疗领域的消毒与理疗美容，常压等离子消毒清洗等领域。 　　中国科学院微电子研究所射频电源组网址：www.rf-power.net

2022年初，一家致力于全方位解决质谱仪核心零部件的厂商，大连奥远电源有限公司（以下简称：奥远电源）“横空出世”，公司成立的初衷是为了改变国产质谱仪严重依赖进口零部件组装的局面。本期“创新100”特别对话大连奥远电源创始人，听他讲述奥远电源选择精密仪器赛道背后的故事。——企业概况奥远电源共有几个创始股东，其中有大连奥远电子股份有限公司和奥远电源的公司法人谷宏芳。奥远电子成立于1995年，专注于“智慧应用产品与服务”，以自有知识产权的产品为引导，力图为客户提供“IT+运营”服务。奥远电源隶属于新三板上市公司——大连奥远集团2022年，公司选择质谱仪电源赛道并创立了奥远电源，希望在高端仪器制造领域帮助国产企业真正实现国产替代。奥远电源前期的产品配件主要销往全世界的石油石化实验室以及第三方检测机构；中期的产品配件主要销往全国各地的空气监测站；当前的产品主要销往各大科研院所以及质谱生产企业。由于有着20多年创业的经历，公司与大连化学物理研究所、四川大学、大连理工大学、大连民族大学等多家产学研机构均有着多年的合作。创始人更是坦言道，公司目前正在隐秘而健康的发展，经营状况良好，技术方股东自2013年起的研发重点就是攻克质谱仪的各个核心零部件，并在未来10-15年计划完成所有质谱仪部件的研发、生产和销售。——产品创新奥远电源主推高压直流、高压脉冲、高压运算放大器、射频电源，以及相关的OEM定制，着力为客户解决根本问题。当前公司主要推广全系列的质谱仪器电源，以及相关解决方案，致力于以质谱仪电源为原点，慢慢向X光电源，高压运放芯片设计，FIB，EBM等领域进发。奥远电源研发实验室一角在提供电源及模块的基础上，公司自主研发了一款高压运算放大器，这是一个内含多级放大电路的电子集成电路，其输入级是差分放大电路，具有高输入电阻和抑制零点漂移能力；中间级主要进行电压放大，具有高电压放大倍数，一般由共射极放大电路构成；输出极与负载相连，具有带载能力强、低输出电阻特点。运算放大器的应用非常广泛，通常的运算放大器供电电压在40V一下，通常供电电压在100V以上的运算凤毛麟角，当前仅有美国的公司在进行生产。奥远电源定制产品生产制作中奥远高压运算放大器HOP 有着广泛应用，在高压仪表、压电驱动、质谱LENS、以及RF上都有着广泛的应用。通常好多高压调压应用都是使用变压器调节，这样会产生一个致命问题，有纹波噪声，电压转换慢，输出阻抗高亢负载能力低，鉴于以上种种的缺点，高压运算放大器可以解决上述问题，它具有低偏置电压，低偏执电流，低缺省电压，低缺省电流，压摆率高，共模抑制比高，噪声低等优点。在谈到与市场上同类型产品相较的话题时，创始人认为，国外厂商的产品普遍是多条战线齐头并进，且产品价格偏高。奥远的高压电源，现阶段主要为质谱仪研究机构和生产厂商提供。因此我们更专注，更了解我们目标客户的需求。目前奥远的产品线覆盖高压直流，高压脉冲，高压运算放大器，射频电源等产几乎所有质谱仪上使用的电源。不仅如此，公司还将以高压直流，高压脉冲为起点，着力打造高压运算，以及射频电源。我们的产品是为质谱仪量身定做的，而且我们能够提供质谱仪全产业链的解决方案，从而更大程度上提高了质谱仪的性能。——未来发展谈到接下来的产品规划及公司的发展，创始人表示，公司目前已经完成高压直流电源1kv-30kv 30种电压型号、单输出/双输出两种输出类型的电源和模块。所有产品经大连化物所、四川大学等机构测试使用，各项目指标都比肩进口产品。接下来，公司将以高压电源以及压电技术为基础研发全系列电镜，并利用已有的光学基础以及压电控制基础研发出飞秒激光器。奥远电源研发工作实验室未来，在踏实完成技术迭代后，公司计划完成国家专精特新企业评定，并冲击IPO。附：“创新100”介绍秉承“国产科学仪器腾飞行动”宗旨，仪器信息网于2018年启动“国产科学仪器腾飞行动”之“创新100”项目，通过筛选一批具备自主创新能力的中小仪器厂商，借助报道、走访、调研等方式，在企业发展的关键时期“帮一把”。项目自启动以来，已收到超过180家企业的踊跃申请，通过输出公益性的宣传报道，组织企业研学、参观交流、主题讨论等各类资源对接活动，得到广大科学仪器企业与用户单位的高度关注与一致好评，现已成为中国科学仪器市场颇具影响力的特色活动，对于提升国产仪器品牌影响力，为行业筛选优质仪器企业贡献重要力量。为延续“国产科学仪器腾飞行动”精神，筛选和服务更多国产科学仪器潜力企业，“创新100”将于2022年继续进行，为国产仪器企业输送更多公益资源。诚邀具备实力、符合条件的创新企业扫码申报“创新100”。报名通道及活动专题：https://www.instrument.com.cn/zt/chuangxin100-2021