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【求助】求教?我用的扫描电镜真空抽不好?还有一个问题是电炉的指示灯打到自动不亮,得重复好几次才行

  • nuterlover
    2007/10/09
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

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  • huangtao0307

    第1楼2007/10/09

    是SEM吗?那个有一个控制真空的阀门的,不过我们自己不能调我上次是请厂商过来调的,第一次开机就是这样很慢的

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  • 共工

    第2楼2007/10/10

    油扩散泵的问题是阀门多,油的种类必须和泵配套,还有污染问题。
    分子泵就好多了。

    huangtao0307 发表:是SEM吗?那个有一个控制真空的阀门的,不过我们自己不能调我上次是请厂商过来调的,第一次开机就是这样很慢的

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  • lp1123

    第3楼2007/10/10

    是不是有哪里漏气啊

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  • ssl_0801263

    第4楼2007/10/10

    是不是开关接触不好?用万用表检测一下就知道!真空不好的话可能是系统有地方有微漏现象,需要查漏,却定漏点!

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