扫描电镜(SEM/EDS)
huangtao0307
第1楼2007/10/09
是SEM吗?那个有一个控制真空的阀门的,不过我们自己不能调我上次是请厂商过来调的,第一次开机就是这样很慢的
共工
第2楼2007/10/10
油扩散泵的问题是阀门多,油的种类必须和泵配套,还有污染问题。分子泵就好多了。
lp1123
第3楼2007/10/10
是不是有哪里漏气啊
ssl_0801263
第4楼2007/10/10
是不是开关接触不好?用万用表检测一下就知道!真空不好的话可能是系统有地方有微漏现象,需要查漏,却定漏点!
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