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钢基体上溅射的2um多层合金膜怎么做断面样品?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 多层的合金膜经过热处理,不同的厚度会有不同的相生成,想看一下截面。

    问题是我在一块大的低碳钢基片上溅射膜的尺度仅为4mm*4mm*2um,要做这么小位置的SEM断面样品怎么做啊?以前在Si基片上很容易,现在钢基片那么硬,而膜又比较薄,真想不出什么好办法。

    各位帮忙想想办法吧。

    谢谢!
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  • szvc

    第1楼2006/08/07

    只能镶嵌了,做截面看了

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  • moralist

    第2楼2006/08/07

    就怕一磨把膜给磨掉了。

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  • sunnysky

    第3楼2006/08/08

    可以用树脂包埋,再研磨,应该会有不错的效果

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