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【求助】SEM不能量测尺寸

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我用的是JEOL5600的机器,最近忽然发现不能使用测量尺寸的功能了,请师傅指教一下!
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  • esem

    第1楼2008/03/13

    得向电子公司询问。

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  • 大陆

    第2楼2008/03/13

    软件的问题吧,应该不严重,因为测量尺寸的软件很多,比如ps。

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  • rennyann

    第3楼2008/03/14

    你要是现在想将就用的话,我给你出个主意:

    在SEM图像中,都有一个标尺的,显示一个比例尺;你可以根据图片上的像素来进行测量
    比如 标尺的前后两个端点的坐标是 (x1,y1) (x2,y2),那么你就可以得到一个像素距离,这个像素距离对应着一个尺寸(就是比例尺显示的数值),如2um,10um了等等,这样,你就可以得到一个像素是多长

    然后, 你在图像中选定你关心的区域的两个点,用同样的办法来确定下来这两个点之间的像素距离,乘以上面得到的单位像素长,你就能得到距离了

    呵呵,这种办法就是太慢,不过,我想,软件也应该就是通过这种方法来计算的吧

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  • compare

    第4楼2008/03/14

    仪器有自带的软件,使用前是否询问一下工程师它们的使用方法,有时候是很有技巧的

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  • 半个网客

    第5楼2008/04/07

    光用软件是不行的,要用一个标准样来校准.没有SEM的标准样,用一个光栅也行.

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  • guanjun19860820

    第6楼2008/04/07

    我和你有一样问题!
    我们保持交流!

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  • 半个网客

    第8楼2008/04/07

    =================================================

    在用这个办法或者用引入标尺的方法之前,一定要进行校准。而校准就一定要用一个长度标样。SEM的标样不一定每台机器都带有的。找一个长度已知的样品,用软件中的校准手续,很快就可以用精确的引入标尺来测算尺寸了。

    rennyann 发表:你要是现在想将就用的话,我给你出个主意:

    在SEM图像中,都有一个标尺的,显示一个比例尺;你可以根据图片上的像素来进行测量
    比如 标尺的前后两个端点的坐标是 (x1,y1) (x2,y2),那么你就可以得到一个像素距离,这个像素距离对应着一个尺寸(就是比例尺显示的数值),如2um,10um了等等,这样,你就可以得到一个像素是多长

    然后, 你在图像中选定你关心的区域的两个点,用同样的办法来确定下来这两个点之间的像素距离,乘以上面得到的单位像素长,你就能得到距离了

    呵呵,这种办法就是太慢,不过,我想,软件也应该就是通过这种方法来计算的吧

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  • jeolzxj

    第10楼2008/06/18

    拍照存图时,会和图片生成一个包含图片参数的TXT文件,如果你是用smile view测量,那这个文件就必须同图像要在同一个文件夹下面。如果你是用操作界面的scaler来测量的话,可能是scaler软件坏了,需安装一下。

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