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【讨论】太阳能级高纯硅中的杂质测量精度数据收集

ICP光谱

  • 我们实验室测量太阳能级高纯硅中的B和P, As以及金属Fe, Al, Ti, Ca, Zn, Mg, Sr等杂质。B和P的测量误差略大于1ppm, As的测量精度很差,误差要大于10ppm, 金属杂质测量误差一般都可以达到1ppm。具体来说,我有一个已知含2ppm B的样品,已反复测量近千遍,所得结果都在1-3ppm之内,但标准偏差的3倍则接近2ppm。我的仪器是Thermo iCAP 6500 Duo. 从网上的资料看,别的厂家的ICP-OES仪器精度可能要好一点,但估计B的测量精度也不会优于1ppm。各位同行能否把所用仪器型号及所能达到的精度拿出来晒一晒?另外,B的测量+/-1ppm的精度已不能满足我们的需要,我们现在准备买一台ICP-MS,不知哪位知道ICP-MS(厂家,型号?)测量硅中杂质B和P的精度是多少?
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  • zhangzjun

    第1楼2008/05/05

    已知含2ppm B的样品,是 什么样品?用什么方法消解样品?

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  • woaini13149

    第2楼2008/05/06

    58521105 我的qq群号,欢迎你加入讨论关于太阳级硅检测的经验

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  • 风之灵

    第3楼2008/05/07

    看了你的贴子好几遍才明白,你说的精度应该是指灵敏度吧?
    你的B 1ppm的灵敏度是指的硅中B的含量吧?按量B的灵敏度应该可以做到更低的,不知道你的称样量是多少?因为B是属于比较灵敏的元素。

    不过对于你们这一行的检测来说,一般基本配制都是ICP-OPS + ICP-MS的,单买ICP光谱的比较少。

    jchencs 发表:我们实验室测量太阳能级高纯硅中的B和P, As以及金属Fe, Al, Ti, Ca, Zn, Mg, Sr等杂质。B和P的测量误差略大于1ppm, As的测量精度很差,误差要大于10ppm, 金属杂质测量误差一般都可以达到1ppm。具体来说,我有一个已知含2ppm B的样品,已反复测量近千遍,所得结果都在1-3ppm之内,但标准偏差的3倍则接近2ppm。我的仪器是Thermo iCAP 6500 Duo. 从网上的资料看,别的厂家的ICP-OES仪器精度可能要好一点,但估计B的测量精度也不会优于1ppm。各位同行能否把所用仪器型号及所能达到的精度拿出来晒一晒?另外,B的测量+/-1ppm的精度已不能满足我们的需要,我们现在准备买一台ICP-MS,不知哪位知道ICP-MS(厂家,型号?)测量硅中杂质B和P的精度是多少?

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  • jchencs

    第4楼2008/05/11

    大侠所言极是,B 1ppm的灵敏度是指的硅中B的含量。不知大侠的B的灵敏度可以做到多少? 我们正准备买一台ICP-MS,不知哪个厂家和型号的较适合做这个应用?望赐教。

    风之灵 发表:看了你的贴子好几遍才明白,你说的精度应该是指灵敏度吧?
    你的B 1ppm的灵敏度是指的硅中B的含量吧?按量B的灵敏度应该可以做到更低的,不知道你的称样量是多少?因为B是属于比较灵敏的元素。

    不过对于你们这一行的检测来说,一般基本配制都是ICP-OPS + ICP-MS的,单买ICP光谱的比较少。

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  • jchencs

    第5楼2008/07/14

    我们的高纯硅样品中的B含量为0.6ppm时ICP-OES测出的数据还能凑合着用,ICP-OES测量结果与电阻率测量结果大体上相符,只是数据分散度较大,不利于产品质量控制,ICP-MS有望解决这个问题。

    风之灵 发表:看了你的贴子好几遍才明白,你说的精度应该是指灵敏度吧?
    你的B 1ppm的灵敏度是指的硅中B的含量吧?按量B的灵敏度应该可以做到更低的,不知道你的称样量是多少?因为B是属于比较灵敏的元素。

    不过对于你们这一行的检测来说,一般基本配制都是ICP-OPS + ICP-MS的,单买ICP光谱的比较少。

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