【求助】请教：为什么圆形扫出来变成了椭圆形？

可能加了倾斜补偿功能。

可能是您使用的那台显示器或软件对monitor的设置有问题，这就涉及不到扫描电镜的技术问题了，调整显示器的显示控制就能搞定。
如果确实是技术问题，请从以下几个方面考虑问题可能的原因，当然，如果希望别人能真正帮到您，能不能把图片贴出来看看：
图片整体在一个方向被压缩了还是局部被压缩？可能是软件引起的，如果整体的，通过图像处理程序可以修正。
图像噪音情况怎样？如果伴随噪音，而且局部变形，探测器可能亟待维护。
什么样品，如果确认不是以上两种原因，也有可能是样品各向异性引起的。

如果是tilt correction最好，进入电子束调整reset就好了；
不然就是电路板的问题，控制上下扫描线圈的板子故障。--可以检查一下这个功能模块的线路连接或触电有无松动，再不行就叫修了。

SEM过一段时期要用标样做尺度的calibration，是纵向和横向都要做的，我认为最大的可能性是没有做好。

要验证是不是尺度calibration的问题，拉一个纵向标尺，和拉一个横向标尺，马上就可以搞清楚了。
如果不是这个问题，那就是显示器的调整问题了，那就比较简单了。

扫描速度跟图形形成速度比例不一致

把图形发上来看看。

学习～～～～～～～～～

是不是没有画好呢?