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【求助】非晶Si薄膜中的黑色条纹

透射电镜(TEM)

  • 本人制备了一个非晶Si薄膜的平面样品,但是在图像中看到许多黑色条纹带,这是否是因为薄膜中应力应变造成?(因为是离子减薄的样品)
    请大侠指教!
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  • 蓝莓口香糖

    第1楼2008/06/17

    上个照片看看,记得一定带标尺。

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  • qinerrrr

    第2楼2008/06/17

    请指教,谢谢!

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  • 蓝莓口香糖

    第3楼2008/06/17

    那个黑黑的大棒子太大了,有没有低倍的图片?要看看数量,分布。另外,这个照片严重过焦,会出现假象,最好是倍数低一些,正聚焦或者轻微欠焦的照片。称度太差可以加物镜光栏。
    但是可以肯定,这个条纹不是单纯离子减薄形成的。

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  • 天黑请闭眼

    第4楼2008/06/18

    我觉得就是这个地方比较厚,原因可能是膜有了重叠,或者这个地方有其他物质沉积。

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  • qinerrrr

    第5楼2008/06/18

    偶是新手,照片质量较差,请多包涵啊。
    这是唯一的一张低倍像,因为看到许多条纹,又完全是非晶膜,所以就没有继续照相了。
    今天又听到一个解释,说可能是等倾或等厚条纹,不知是否正确?因为偶觉得这个膜是不应该有重叠的,即使是重叠,也不会有那么多重叠。


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  • 蓝莓口香糖

    第6楼2008/06/18

    哪个是条纹?最下面的两条,还是上面那些黑黑的?两张图的尺寸好对不上。如果信息不准确,费脑筋解释是没有意义的。如果确实感兴趣,建议重新做一次实验。
    非晶膜不会有等倾和等厚条纹条纹。

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  • 怪味陈皮

    第7楼2008/06/19

    我前几天帮别人做过一个样品,是在SiO2(好像是非晶)表面长多层膜,也看到跟你发的类似的图像。本来以为是多层膜,对这个黑条纹做能谱分析,结果还是SiO2。我怀疑这些黑条纹可能是离子减薄过程中样品边缘卷曲造成的。

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  • qinerrrr

    第8楼2008/06/19

    7楼的回答也许是正确的,因为我也是在Si衬底上生长SiO2和Si的多层膜,结果发现是非晶的,而且有这许多条纹(这个是平面样品,所以应该不会是多层膜的特征吧)。因为不能做能谱,所以不知道是什么东西。又因为负责离子减薄的工程师说因为我的样品做的不是太好,所以可能会有很多应力在里面,所以想问问。
    另,回6楼:黑色条纹是指上面那些黑的。这个样品并不是特别重要,只是因为是新手,看到这个情况,想了解一下而已。
    谢谢大家的耐心解答!

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  • hinicalon

    第9楼2008/06/23

    非晶膜为什么不会有等倾等厚条纹啊,这不是光的干涉吗?和晶态非晶态也有关系?

    drizzlemiao 发表:哪个是条纹?最下面的两条,还是上面那些黑黑的?两张图的尺寸好对不上。如果信息不准确,费脑筋解释是没有意义的。如果确实感兴趣,建议重新做一次实验。
    非晶膜不会有等倾和等厚条纹条纹。

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  • 蓝莓口香糖

    第10楼2008/06/23

    咱们用运动学理论解释吧。等倾条纹是因为局部的晶面发生偏转,比周围的晶面更加符合衍射条件,所以衍射更强,从而在明场像中出现黑色条纹。等厚条纹是电子束穿过样品是被晶格逐层散射,散射波逐个累加达到最大(运动学解释),从而在明场像中形成黑色条纹。所以两者都是需要规则晶格进行散射的。这样的解释也指出了二者的一个区别——等厚条纹是周期性的,而等倾条纹往往没有周期性。
    这两种条纹都属于衍射衬度,不是干涉的结果。证据就是明,暗场像。单个透射或者衍射束即可观察到,不需要第二个光束参与成像。

    hinicalon 发表:非晶膜为什么不会有等倾等厚条纹啊,这不是光的干涉吗?和晶态非晶态也有关系?

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