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X射线衍射仪(XRD)
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【讨论】各位前辈,帮忙看一下小弟的XRD的结果!不对的地方告知!
qyd
2008/07/11
私聊
X射线衍射仪(XRD)
首先说一下:
我做的是三元薄膜:SiCN,所用气源:硅烷、甲烷、氮气!仪器:HFCVD
通过和SiCN 的PDF卡片:74-2308 我认为该图中主要物相就是它,
28度左右我认为是Si 衬底的峰,另外的一个峰我认为就是杂峰了!
SiCN的部分结果
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