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【求助】真空抽不上去

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 今天上午用电镜正在观察土样,突然电镜的真空开始放气,抽不上真空了,是怎么回事啊这?
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  • ︶ㄣ青蟲CC

    第1楼2008/07/16

    检查空压机密封圈!

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  • 半个网客

    第2楼2008/07/17

    自行放气,应该不是真空设备本身的问题,检查一下真空控制系统。

    sunlinlin 发表:今天上午用电镜正在观察土样,突然电镜的真空开始放气,抽不上真空了,是怎么回事啊这?

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  • huangtao0307

    第3楼2008/07/17

    查查是否漏氣

    sunlinlin 发表:今天上午用电镜正在观察土样,突然电镜的真空开始放气,抽不上真空了,是怎么回事啊这?

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  • 春天的桃子

    第4楼2008/07/17

    今天上午用电镜正在观察土样,突然电镜的真空开始放气,抽不上真空了,是怎么回事啊这?


    土样是不好抽的,要占牢固些,不可以掉细小的颗粒.土本身有细微的孔,所以抽真空的时间长些.

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  • 面对面想你

    第5楼2008/07/17

    不错,是自动放气,而不是漏气!

    peterhsiao 发表:自行放气,应该不是真空设备本身的问题,检查一下真空控制系统。

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  • sunlinlin

    第6楼2008/07/18

    谢谢了,但是怎么解决这种现象啊 ???

    jackcong 发表:不错,是自动放气,而不是漏气!

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  • 半个网客

    第7楼2008/07/18

    ========================================

    那就很难说了。真空控制有用机械电器开关的,也有用电脑软件控制的,要视情况而定,一般来说,要请人做的。

    sunlinlin 发表:谢谢了,但是怎么解决这种现象啊 ???

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  • forzamarco

    第8楼2008/07/21

    各种泵都正常吗?抽不了真空,那真空只能抽到多少Pa呀?
    以前还碰到过SE影像观察时POST HV故障导致真空下降,Vacc自动跳掉.建议换N-mode看看,如果不行,还是请厂家售后吧.

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  • jzhx68

    第9楼2008/07/22

    由于土样比较酥松,可能在观察过程中,样品的粉尘被吸入到真空系统中,你可以打开电离管检察一下,顺便清洗,问题应该可以解决。这过程中要注意,自己不行的话,叫维修工程师。

    在观察过程中出现漏气,真空密封的概率应该不大。

    sunlinlin 发表:今天上午用电镜正在观察土样,突然电镜的真空开始放气,抽不上真空了,是怎么回事啊这?

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  • refractories

    第10楼2008/07/22

    正在使用的过程中真空降下来了?再次抽真空不行吗?
    要是那样的话检查一下真空控制系统和密封圈!

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