【求助】C,O,N分布及化学态测试用什么比较好

XRF、AES、ICP-MS、ETAAS都不能解决你的问题，SIMS是最佳选择，但仪器比较贵。以下是对仪器的介绍。
二次离子质谱（Secondary Ions Mass Spectrum 简称SIMS）采用质谱技术分析表面原子层以确定表面元素组成和分子结构。它的分析原理非常容易理解：将需要分析的样品放置在真空中，用被称为“一次离子”的高能量离子轰击样品表面，入射离子穿透样品表面并引发表面原子互相撞击，撞击导致表面上的分子和原子脱离表面并离子化，然后这种从表面上脱离的“二次离子”被质谱仪收集并分析，从而得到样品表面的化学组成情况。同时，随着入射离子时间的延长，表面原子层会被逐渐剥蚀，根据分析时间和离子强度建立的坐标，可以得到某种离子随表面深度的变化其浓度变化情况。

尽管早在1910年，二次离子现象就已经被发现，由于二次离子分析有极高的表面灵敏度，能够对表面进行静态分析以及深度剖析而被所有表面分析人员所关注并重视。然而，这种看来应该被迅速推广的分析技术却因为仪器造价昂贵，操作维护费用巨大，对人员实际操作水平要求极高，分析谱图解释困难等诸多因素，造成人们对二次离子质谱技术“昂贵、极其专业、必须是专家才能操作并且图谱解释模糊”的印象，限制了二次离子质谱技术的发展。直到今天，全世界只有不超过1000台二次离子质谱仪在使用。

Mini SIMS为用户提供了一些其他表面分析技术所不具备的性能。
1、样品在高真空下得到的样品表层真实信息，在静态分析条件下信息仅来自表面层，而动态分析时信息仅来自几个原子层。
2、可分析质量数范围3-300的全部元素，包括锂、铍、硼等轻质量元素。
3、可对元素同位素进行检测，用于同位素分析或利用同位素提供的信息。
4、SIMS是一种“软电离”手段，通过对碎片离子峰分析，从而确定表面化合物的结构。
5、通过入射离子束的扫描或直接成像，实现微区面分析，具有高空间分辨能力。
6、聚焦入射离子束对表面进行剥离，可以实现对十个成分的跟踪分析，达到三维微区分析的目的。
7、SIMS是一种质谱技术，是检测特定核质比离子的分析技术，它的本底噪音低于电子能谱。可检测正负二次离子，从而具有极高的灵敏度，可以达到10-6甚至更低，是所有表面分析方法中灵敏度最高的一种分析手段，具有很宽的动态范围。

谢谢楼上的!

XPS不行吗?不是配合离子枪可能进行深度剖析
XRF和AES测含量也行吧,对于化学状态,是不能测,还是测得不准确呢?

XPS配合离子枪可进行深度剖析,但是其本质还是X射线技术，测不了C，H，O；XRF和AES目前也不能测C，H，O，化学状态和含量都不能测，不是测不准，而是不能测。