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【原创】请教能谱计数率的问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 昨天做了个陶瓷材料的能谱,计数率只有900,请教各位高手帮助分析一下,为什么计数率上不去呢,是否参数选的不对,电压20KV,spotsize40,时间60秒,请各位大侠指教.
    能谱图及分析结果
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  • zhuangj581

    第1楼2008/10/30

    我也碰到过计数率变小的问题 当样品表面起伏较大 电子束打在凹处时计数率会突然变小 计数率和工作距离有关 在凹处工作距离变大计数率变小。不知版主是不是这种情况 调小工作距离对焦 试试

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  • 毒菇九剑

    第2楼2008/10/30

    陶瓷很容易产生高计数率的.
    确认一下工作距离是否正确, 有没有打到凹坑里,可以加大spotsize, 处理时间可以选低一点.

    zhx-7777 发表:昨天做了个陶瓷材料的能谱,计数率只有900,请教各位高手帮助分析一下,为什么计数率上不去呢,是否参数选的不对,电压20KV,spotsize40,时间60秒,请各位大侠指教.
    能谱图及分析结果

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  • zhx-7777

    第3楼2008/10/30

    谢谢!我们的能谱仪是德国热电(赛默飞世尔)的 Thermo NORAN . 要求工作距离必须是20MM,不过我可以试一下看看,谢谢指教.

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  • zhx-7777

    第4楼2008/10/30

    谢谢,你说的有道理,我的样品的确是凹凸不平,且质密度很差,很有可能是打在处了.

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  • fengcuicaodi

    第5楼2008/11/06

    还有电子枪的对中,饱和点的调整也会影响计数率,你的灯丝寿命是不是快到了,或是灯丝安装不是很好?
    另外,能不能选大的光阑试试。

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  • fengyonghe

    第7楼2008/11/08

    看了你的结果,你的怀疑是对的,参数选的不好.这几个元素的峰值都在低能量区.用20千伏太高了.在2-3倍临界激发电压之间选取高压.另外,若只测成分,束班选100没问题.处理时间不能选小,否则重叠峰严重.工作距离是仪器参数,不能改变,否则计算结果不对.

    zhx-7777 发表:昨天做了个陶瓷材料的能谱,计数率只有900,请教各位高手帮助分析一下,为什么计数率上不去呢,是否参数选的不对,电压20KV,spotsize40,时间60秒,请各位大侠指教.
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