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【求助】关于GaN薄膜断面分析

  • yongchen1222
    2009/02/24
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 所传图片为GaN薄膜的断面分析,该图片有点不是太明白,想请各位前辈指导一下。在图中“A”代表什么?“B”是不是薄膜的最外层?“C”是不是超晶格结构层?“D”是不是也是一层GaN薄膜?在该图中基片层是不是没有显示出来?已知该薄膜为在蓝宝石衬底上生产的GaN薄膜,其中有超晶格结构。
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  • longwood

    第1楼2009/02/24

    楼主的这个问题非常典型。比如一张TEM照片,没有任何附加信息,甚至连标尺也没有,但又很想知道到底是什么。 其实这种情况下别人是不大可能提供确信的信息,只能猜测。其实最有可能提供信息的应该是当场做电镜的老师。离线的分析也必须基于在线时提供的足够信息。
    A有可能是制备截面样品时的grub,其实拍照片时无论时高分辨还是衍射都能立即确认,grub是无定形态的。但是让其他人仅从照片上看,只能推测。
    至于B,C,和D.从明场像看衬度上没什么太大区别。似乎C衬度比B和D更弱,但到底C是怎么回事,照片上有没有衬底的存在,如果有不同区域的衍射或者高分辨或者能谱分析就能清楚了。
    超晶格结构也是一样, 总是要有成分或者应力的改变的。从高分辨或者是成分,应力敏感的暗场像,或者元素的mapping,都可以获得具体的信息。
    但是这些信息应该是在做电镜时所获得的。如果当时没有考虑,单独从照片上得不到太多的信息。
    样品本身其实很好,可以研究的东西也很多。比如外延层和衬底界面的情况,外延层中是否有缺陷,应力的分布,是否有量子点或量子井形成
    等等。但这都是需要在电镜观察时所考虑的以及用不同的方法测试。
    所以最好是能事先事先从类似的文献中或者到版上来问。然后跟做电镜的老师多交流,这样才能保证实验中获得足够的信息。



    yongchen1222 发表:所传图片为GaN薄膜的断面分析,该图片有点不是太明白,想请各位前辈指导一下。在图中“A”代表什么?“B”是不是薄膜的最外层?“C”是不是超晶格结构层?“D”是不是也是一层GaN薄膜?在该图中基片层是不是没有显示出来?已知该薄膜为在蓝宝石衬底上生产的GaN薄膜,其中有超晶格结构。

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  • amywinehouse

    第2楼2009/02/24

    I guess:

    A: glue
    B: GaN layer?
    C: buffer layer if it is grown in between or thickness contrast?
    D: should be the substrate?

    Please provide more information about the superlattice structure.

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