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【求助】请教关于STEM光路对中及HAADF

refe971

2009/04/01

透射电镜（TEM）

我用的JEOL 2100电镜,管仪器的老师说做STEM时先在TEM模式下把光路对好,再切到STEM,调Ronchigram出,用Ronchigram来调光路,主要是投影镜对中,电子束平移,还有聚光镜像散. 我不知道这样调好后是否就够了,还是老师只告诉了一种简单粗略的方法,如果要得到好的结果,是否还要在STEM下作细调,如电流电压中心,大家做STEM是怎么样调光路的?

还有一个问题是我做HAADF像时,发现在调好Ronchigram后,要得到清晰的HAADF像要调OBJ　FOCUS，这样我就糊涂了，调出Ronchigram不是为了得到最小的照到样品上的束斑吗, 只要用DF探头收集高角散射电子不就可以了,为何还要调物镜电流呢? 是不是我的光路没调好,才要调物镜电流,还是我对原理理解有问题.请大家指教, 谢谢!

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第1楼2009/04/01

Ronchigram在一定的欠焦范围内都能得到，但是不一定是最佳的聚焦位置，所以还要轻微调整物镜聚焦。

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iamikaruk

第2楼2009/04/01

如果要效果比较好，最好做下beam shift pivot point以及聚光镜-物镜beam tilt对中。如果你的ronchigram不是在样品上的非晶区域获得，肯定是要做聚焦的。
refe971 发表:我用的JEOL 2100电镜,管仪器的老师说做STEM时先在TEM模式下把光路对好,再切到STEM,调Ronchigram出,用Ronchigram来调光路,主要是投影镜对中,电子束平移,还有聚光镜像散. 我不知道这样调好后是否就够了,还是老师只告诉了一种简单粗略的方法,如果要得到好的结果,是否还要在STEM下作细调,如电流电压中心,大家做STEM是怎么样调光路的?

还有一个问题是我做HAADF像时,发现在调好Ronchigram后,要得到清晰的HAADF像要调OBJ　FOCUS，这样我就糊涂了，调出Ronchigram不是为了得到最小的照到样品上的束斑吗, 只要用DF探头收集高角散射电子不就可以了,为何还要调物镜电流呢? 是不是我的光路没调好,才要调物镜电流,还是我对原理理解有问题.请大家指教, 谢谢!

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refe971

第3楼2009/04/01

谢谢回复
呵呵,又有一个问题,新手上路问题比较多.
我在调STEM光路的时候,停下PROBE, 把光斑调中心,当PROBE放到样品其它位置时,光斑不在中心了,这是由于我光路没对中,还是STEM原理本身会产生这样的现象,是否我只要把PROBE放在扫描区的中心,然后调光斑中心和Ronchgram中心就可以了.

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iamikaruk

第4楼2009/04/01

如果对中做好的话，你在diff模式下是基本看不到中心斑随束斑移动而移动的。你的这种情况可能是beam shift pivot point没做好，在beam shift的时候产生了beam tilt。
refe971 发表:谢谢回复
呵呵,又有一个问题,新手上路问题比较多.
我在调STEM光路的时候,停下PROBE, 把光斑调中心,当PROBE放到样品其它位置时,光斑不在中心了,这是由于我光路没对中,还是STEM原理本身会产生这样的现象,是否我只要把PROBE放在扫描区的中心,然后调光斑中心和Ronchgram中心就可以了.

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