【求助】求电子束与固体相互作用软件

不清楚你具体的要求。
如果是针对TEM,通常不直接计算整个晶体的散射截面，而是考虑入射电子被单个独立原子的散射。通过对原子的静电势作傅立叶变换得到散射因子（对高能入射电子来说束电子与晶体电子的交换与关联可以忽略）。原子的静电势一般用哈特利-福克近似计算。当然一般不用自己计算。每个TEM 模拟程序中都包含了原子散射因子数据。如果你想自己计算，可以看看mcdf包，这是个免费程序，可以和作者要。另外一个方法是从x-ray散射因子转换。
至于被整个晶体的散射，那就是考虑各个原子静电势的简单叠加，首先得到结构因子。对厚晶体，还要通过TEM模拟中要考虑的动力学衍射了。

Egerton那本经典的书后面就有一套参数化的Hartree-Slater散射截面计算程序，不过只是非弹性散射的。

有一个离子束与固体相互作用的软件TRIM,可以计算离子的分布,电子能量损失,核能量损失,离化率,位移等.
我想看看不同能量的电子在材料中的能量损失大小,有多少俄歇电子,二次电子产生,位移等参量,是否有类似TRIM的软件

计算透射电子能量损失谱可以试试密度泛函计算。至于2次电子等，不知道SEM领域有什么软件。