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【求助】关于XPS定量分析!

  • foreverzmw
    2009/04/13
  • 私聊

XPS及其它能谱仪

  • 我做的是ZnO:Al薄膜,Al的原始掺杂含量为1.5 at%,结果XPS测试的Al/Zn大约为8 at%,这根本不是误差能解释的,我也问过帮我们检测的老师,她说灵敏度因子绝对没错。我想请问各位大侠问题出在哪儿?实际的掺杂含量绝对不可能这么高的。谢谢!
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  • foreverzmw

    第1楼2009/04/13

    自己顶一下,希望各位高人解惑啊。谢谢。Zn、Al的灵敏度因子分别为0.537,18.92

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  • mrbing

    第2楼2009/04/13

    请问Zn和O的原子数比例是多少??

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  • foreverzmw

    第3楼2009/04/13

    初始值1.5,测量计算值为8

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  • foreverzmw

    第4楼2009/04/13

    不好意思写错了,Zn:O大约为1:1。48.3:46.9

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  • feixiong5134

    第5楼2009/04/13

    Al的原始掺杂含量为1.5 at%

    这个含量是如何得到的?

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  • foreverzmw

    第6楼2009/04/14

    那是靶材中Al/Zn的比值

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  • feixiong5134

    第7楼2009/04/14

    什么是靶材?
    不好意思?
    还有这个比值是那来的??????

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  • foreverzmw

    第8楼2009/04/14

    我们是用磁控溅射制备的,靶材的成分很容易确定

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  • feixiong5134

    第9楼2009/04/16

    既然容易确定
    你就别用xps的含量数据
    因为他是半定量的
    误差很大

    foreverzmw 发表:我们是用磁控溅射制备的,靶材的成分很容易确定

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  • lslfangjian

    第10楼2009/05/06

    我的资料显示:
    Al 2p的面积灵敏度因子为0.234,
    Zn 2p3/2的面积灵敏度因子为3.726。
    你重新算一下。

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