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【求助】关于XPS定量分析！

foreverzmw

2009/04/13

XPS及其它能谱仪

我做的是ZnO：Al薄膜，Al的原始掺杂含量为1.5 at%，结果XPS测试的Al/Zn大约为8 at%，这根本不是误差能解释的，我也问过帮我们检测的老师，她说灵敏度因子绝对没错。我想请问各位大侠问题出在哪儿？实际的掺杂含量绝对不可能这么高的。谢谢！

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foreverzmw

第1楼2009/04/13

自己顶一下，希望各位高人解惑啊。谢谢。Zn、Al的灵敏度因子分别为0.537，18.92

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mrbing

第2楼2009/04/13

请问Zn和O的原子数比例是多少？？

0

foreverzmw

第3楼2009/04/13

初始值1.5,测量计算值为8

0

foreverzmw

第4楼2009/04/13

不好意思写错了，Zn：O大约为1：1。48.3:46.9

0

feixiong5134

第5楼2009/04/13

Al的原始掺杂含量为1.5 at%

这个含量是如何得到的？

0

foreverzmw

第6楼2009/04/14

那是靶材中Al/Zn的比值

0

feixiong5134

第7楼2009/04/14

什么是靶材？
不好意思？
还有这个比值是那来的？？？？？？

0

foreverzmw

第8楼2009/04/14

我们是用磁控溅射制备的，靶材的成分很容易确定

0

feixiong5134

第9楼2009/04/16

既然容易确定
你就别用xps的含量数据
因为他是半定量的
误差很大
foreverzmw 发表:我们是用磁控溅射制备的，靶材的成分很容易确定

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lslfangjian

第10楼2009/05/06

我的资料显示：
Al 2p的面积灵敏度因子为0.234，
Zn 2p3/2的面积灵敏度因子为3.726。
你重新算一下。

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