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【求助】紧急求助,找不到电子束

  • shishenglin
    2009/05/05
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 大侠们, 电子束找不到.

    常规的方法, 包括各个aperture, 都弄正常了.

    但还是不行.

    今天一老师说是Gate Valve开启的声音不对,那里出问题了.

    要是Gate Valve的问题那该怎么维修?

    你们有经验吗? 非常感谢!
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  • 蓝莓口香糖

    第1楼2009/05/05

    你要说说具体现象,你们都做了哪些调整,电镜显示的参数都有什么样的反应。看不到光有很多原因。

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  • 无敌大冰冰

    第2楼2009/05/06

    首先看灯丝电流,确保有电子束。
    然后看看选区哪里取消选区,我昨天就是闹了个这个笑话。。找了老半天。汗
    找出前一个使用者,详细回忆动了哪里
    都不行,找工程师,哈哈

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  • 天黑请闭眼

    第3楼2009/05/06

    没有电子束,怎么知道aperture等位置都弄正常了?单凭电流值么?

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  • shishenglin

    第5楼2009/05/06

    各项电流都正常,场发射源也正常,

    这些结论是根据这个事实: 调整各个磁透镜电流,可以看到电子束,

    但不是正常模式.

    我在操作过程中没有动tilt, 应该不会很大程度改变光路.

    前面的也操作正常. 我看到后面回帖的一个人说取消选区就行了是什么意思??

    我把所有aperture都已经抽出了.

    老师现在觉得是alignment的问题,如果要重新alignment是不是一定要工程师过来? 自己调整alignment是不是非常难?

    非常感谢!

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  • 天黑请闭眼

    第6楼2009/05/06

    不是正常模式?那是什么模式?
    合轴的过程并不麻烦,照着规定一步步来就是了。

    另外:你的电镜是什么型号的?

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  • liveorevil

    第7楼2009/05/06

    工程是合轴的数据应该有记录,各个透镜的电流值什么的那上面都有,那些都正常光路应该不会有问题吧

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  • scores

    第8楼2009/05/06

    真的不好说
    找不到电子束可能有很多情况
    alignment并不复杂,但是如果你和老师都没有经验不建议做
    还是找行家去看看

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