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【求助】洁净室空气中AMC的检测机构

zhouhaijian006

2009/06/11

噪声/辐射等检测

在集成半导体器件，磁盘驱动器以及液晶显示器等行业中，空气中气态分子污染物AMC（Airborne Molecular Contaminants）越来越受到关注。AMC的存在会对原料、工艺、最终产品、生产和机械设备产生不同程度的损害，如光学透光率降低，接触电阻变高，粘接失效，不规则成型。

我摘抄了文献上写到：
在洁净室中，SO2 H2S NOX NH3是主要的在线测试气体；在某半导体厂T10级洁净室内，使用自动监测仪测试了SO2、NO/NO2 和NH3的浓度，分别为21.23ppb, NO25.79ppb, NO2 47.6ppb, NH3 83.26ppb,远远高于该单位要求值。

我想请教大师们个问题，一般洁净室如果在10万或1万等级里，AMC都是很低的：

可否有其他测试方法来对洁净室中的AMC进行检测，又没有个国标或者外标！？
国内有这样的第三方权威检测机构么，请告知！

谢谢！
附件是SEMIF21-1102
Classification of AMC levels in clean environments
SEMIF21-1102

附件：

SEMIF21-1102

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chemistryren

第1楼2009/06/11

环境监测站有资质测的，还有建设局下属事业单位和卫生局下属事业单位也有资质。

0

zhouhaijian006

第2楼2009/06/11

这两天联系了一些检测站的,只是那么低的浓度,他们也不能保证用相关国标检测大气或者室内空气的办法能检测的出来;

有的报道上说,正常等级严格的洁净室酸性气体的控制指标在十几个或者几个ppb级以下

如此低的浓度,想测出来比较麻烦,重复性的结果估计就更难了!

为了寻找第三方检测机构,这两天已经是够了

所以来寻找大家帮忙了

0

hujones

第3楼2019/06/18

我们这里有办法
zhouhaijian006(zhouhaijian006) 发表:这两天联系了一些检测站的,只是那么低的浓度,他们也不能保证用相关国标检测大气或者室内空气的办法能检测的出来;

有的报道上说,正常等级严格的洁净室酸性气体的控制指标在十几个或者几个ppb级以下

如此低的浓度,想测出来比较麻烦,重复性的结果估计就更难了!

为了寻找第三方检测机构,这两天已经是够了

所以来寻找大家帮忙了

0

检测老菜鸟

第4楼2019/06/18

应助达人

重复性不好搞啊

0

检测老菜鸟

第5楼2019/06/18

应助达人

私信给哈。我把联系方式删了哈
hujones(hujones) 发表: 我们这里有办法

0

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