声学显微镜
第8楼2012/11/03
1)你是要看IC或其它电子器件的分层缺陷,那么用扫描声学显微镜,没错!
2)你主要目的是作器件筛选的,那么这台设备必须是工业级的,也就是说它的工作扫描速度指标必须很高,现在最新型的机型能达到2米/秒。这样,才能做出效率来!目前我所知道的是德国KSI的最新型机器v-400E能达到,而且必须是2011年后出厂的。据说以前的机器也只有1.5米/秒;美国索纳斯勘的机器资料上说也能达到,不过我见过的是早期的机器D9500,Speed是1米/秒的;另一家Sonix的机器一般是属于低速扫描系统,不建议。
3)你没有说明你的样品是哪种封装?譬如说,BGA,DIP,Flip-chip等(如果不了解,你可以参考一下百度文库的链接,学习一下),这些器件的封装形式决定你这台声学显微镜设备所配置的探头频率。这里有个规律,频率越高的探头,那么它的售价也越贵。象BGA/Flip-chip这种器件,那么它必须用频率较高的探头,一般是150MHz以上~230MHz,DIP则可以频率低一些,一般都是50M以下;50M以上价位可能是1万多点美金,而150MHz以上探头,价位要到了4、5万美金,相差很大。所以你的器件决定你所用到探头,也直接与你要求的价位相关了;
4)不知道你说的几十万预算,币别是人民币还是美金,一般来说这种工业级的扫描声学机器,要达到几十万美金,如果探头配置比较齐全的话(再包括透射工作模组),价格就更高了。这些机器一般都是进口的,所以价格不便宜。国产的机器,还没研发出来,这里面有很大的技术障碍,一方面是高速平稳扫描系统无法做到,另一个原因是扫描声学成像软件的算法,与德国等国外进口的机器配置的差得太远!
总之一句话,好机器,它可能另一个意思是“好”价格!