本公司依托计量院重点实验室,联合行业顶尖博士团队,承接SEM、FIB-SEM、AFM、工业CT、FTIR等相关测试服务并提供失效分析等行业解决方案, 应用于半导体、光电子器件、纳米科技、新能源汽车、教育及科研等多个领域
仪器介绍:
1.扫描电子显微镜（SEM）
型号: Zeiss Sigma 300
技术参数：1nm @ 15kV；1.5nm @ 1kV
适用范围：纳米级形貌观察和分析、微区成分分析
备注：可出CMA或CNAS报告
2. 聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）
型号: Thermo Scientific Helios 5 CX
技术参数：0.8nm @ 15kV；0.9nm @ 1kV
适用范围：超高分辨率形貌表征、原位失效分析、透射电镜（TEM）样品制备、纳米尺度原型设计、微区成分分析
3.扫描探针显微镜（AFM）
型号: Bruker Innova
技术参数：垂直分辨率：0.01nm
适用范围：纳米级形貌表征及材料厚度测试
备注：材料厚度测试可出CMA或CNAS报告
4.三维光学轮廓仪
型号: Bruker Contour GT-X
技术参数：Z向扫描范围：0.1nm～10mm；垂直分辨率：0.01nm
适用范围：材料粗糙度、表面形貌分析及高分辨率成像
5.表面轮廓仪（台阶仪）
型号: Bruker Dektak XT
技术参数：垂直分辨率：1?
适用范围：金属蚀刻均匀性、薄膜厚度
6.工业CT
型号: YXLON FF35 CT
技术参数：细节分辨率：6μm
适用范围：孔隙缺陷分析、三维结构成像、尺寸测量、工件检测
备注：工件检测可出CMA或CNAS报告
7.同步热分析
型号: Netzsch STA449F5
技术参数：测试温度范围：室温～1600℃
适用范围：热重分析和吸放热分析
8.激光导热仪
型号: Netzsch LFA467
技术参数：测试温度范围：-100°C ～500°C；样品厚度：0.01～6 mm；样品直径：6～25.4 mm
适用范围：材料导热系数和热扩散系数
9.傅里叶变换红外光谱显微测试系统
型号: Thermo Scientific NicoletiS50
技术参数：光谱测试范围：12000～100cm-1；反射测试角度调节范围：30～80°可调
配备显微模式，可测试反射、投射、TR模式的显微红外
适用范围：分子链结构鉴定、官能团分析、化合物定性分析、晶圆碳氧等含量及外延层膜厚分析
10.激光共聚焦显微镜
型号: Zeiss Microscope LSM 900
技术参数：最大探测深度15mm；扫描变焦倍率：0.5～40
适用范围：用于金相分析、断裂失效坑洞裂痕分析、膜厚分析、粗糙度测量等
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