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【求助】能谱图像没有质点是何原因

  • haishangpiao09
    2009/08/17
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)



  • 同志们,这两张图片分别是EDS中没质点的图片何SEM中正常的图片,在操作过程中SEM中图像是清晰的但一到能谱收集图像时就失真了,图像一片模糊,计数率是正常的,请问是什么原因呢?
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  • fengyonghe

    第1楼2009/08/17

    查有关资料:对于大多数电镜的图像采集通道只有一条,即Det=1。如果Det为其它值就收不到图像信号。此外错误的图像灰度范围设置也会表现为收不到图像。正确的灰度范围为:Smin=0,Smax=4095。

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  • huangtao0307

    第2楼2009/08/18

    樓主用的是哪家的能譜啊.型號是多少﹖這樣才好幫你看看啊

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  • haishangpiao09

    第3楼2009/08/18

    我们的电镜和能谱是JEOL的JSM-6390A、JED-2300的

    huangtao0307 发表:樓主用的是哪家的能譜啊.型號是多少﹖這樣才好幫你看看啊

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  • haishangpiao09

    第4楼2009/08/18

    这种情况之前只是偶尔出现,然后指不定什么时候就可以了,但这两天出现这情况后就一直图像没质点了。对于你说的灰度范围没限制,这个参数我都没改动,以前是OK的但是现在出现这种问题了。

    fengyonghe 发表:查有关资料:对于大多数电镜的图像采集通道只有一条,即Det=1。如果Det为其它值就收不到图像信号。此外错误的图像灰度范围设置也会表现为收不到图像。正确的灰度范围为:Smin=0,Smax=4095。

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  • fengyonghe

    第5楼2009/08/18

    试试看吧,停机后将有关的插接件插拔几次。

    haishangpiao09 发表:这种情况之前只是偶尔出现,然后指不定什么时候就可以了,但这两天出现这情况后就一直图像没质点了。对于你说的灰度范围没限制,这个参数我都没改动,以前是OK的但是现在出现这种问题了。

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  • alexzhtang

    第6楼2009/08/18

    请楼主查看一下能谱与电镜之间的接口是否脱落或松动了,以前我遇到过这样的问题,能谱不能采集图像,仔细检查是有个接口脱落了。

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  • haishangpiao09

    第7楼2009/08/19

    很感谢你的回答,昨天JEOL工程师来调了,好像是能谱那边的衬度亮度偏移太大了,做了修正后就正常了。但是工程师说原因还不太确定,有可能是硬件问题也有可能是软件问题。

    fengyonghe 发表:试试看吧,停机后将有关的插接件插拔几次。

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