zemb
第5楼2007/08/06
这些问题应去阅读电镜原理中电子束与样品的作用部分。
简单的说:
电子束作用在样品上的范围与加速电压、束斑大小、样品材料及所取的信号种类等有关。如某电镜的分辨率是1.2nm,可以说其在最佳分辨率条件下作用在样品表面的束斑直径应小于1.2nm。不同信号产生的范围及深度不同,二次电子信号产生于样品表面较浅的部位,范围及深度约为几nm,X射线产生于样品表面较深的范围,产生X射线的范围及深度约零点几至几十微米。信号产生的范围及深度主要受加速电压及样品材料原子序数的影响。
电子束与样品的作用范围会影响EDS成分的分析,EDS能够分析的最小颗粒应不小于产生X射线的范围,如一般黑色金属,其范围约在1微米左右。如果分析的颗粒超过这个范围,其分析的成分应基本上就是这个颗粒的成分。
对于200nm的颗粒,不能用EDS准确的分析出成分,因为在电子束激发该颗粒产生X射线的同时,也激发出了相邻颗粒(或部位)产生X射线,这样分析的结果就包含了相邻部位的成分。
把颗粒放得再大,也减小不了X射线的产生范围,所以说靠提高放大倍数来提高X射线的分辨率是不可能的。这是EDS的局限性。
semoperator
第6楼2007/08/07