请教SEM目前常用的背散射电子检测器种类有那些？

已经有人问了， 回答的很详细呢。
贴主应该是SEANWEN。

seanwen问的是磁透镜的种类吧？背散射我用的很少，也没有看到过什么资料专门介绍。

后来 话题转了， 又讲了不少 BSE检测器。

呵呵，看到了，看得不仔细啊，不过如果有图例就更好了。

背散射检测器分两种， 一种是固体检测器， SOLID STATE， 利用 固体硅片作 SENSOR，加上前置放大器 构成， 一种是 闪烁体加光导管加 光电倍增管 构成。

多谢。
另外 检测器的安装位置也有不同， 有 OFF LENS和 INLENS之分。
还有固定式 和 移动式之分。
我见过最好的就是 英国 KE DEVELOP 公司生产的 CETAURUS 背散射检测器， 尖端可以更换， 可以变成 阴极荧光探测器使用， 很节省哟。

不好意思， 忘了讲优缺点了
1， 固体式的 可以 在检测成分的同时 检测形貌， 闪烁体式的 也可以检测形貌， 但不能同时完成。
2， OFF LENS式的 操作难度较低， INLENS式的操作难度高， 但 成像解析度 高很多， 一般配合 场发射电镜使用。
3，固定式的 不用调节， 但容易 被划伤， 移动式的 需要 调节正确位置， 但被损危险性很小。

看了你这个帖子，难道说你的每周一问7里面提到的背散射就是用in lens操作得到的？我们用的就是固定式的，已经不能用了，sigh。

每周一问的 BSE检测1器是 移动式， OFFLENS 和固体式的， 但距离样本只有10MM， 所以才那么清晰。

请教一下，我想用一种检测器检测一定距离的车辆，价格也要实惠一些，各位仁兄给点建议，谢谢