红外光谱(IR)
lh2000d
第1楼2010/01/08
请问你在测单晶硅片的透过时,背景是怎样采集的? 在测沉积有薄膜的硅片的透过时,背景又是如何采集的?另外,你主要是想看1微米厚薄膜本身的透过呢,还是想看沉积了薄膜之后硅片的透过率?
happyalife
第2楼2010/01/08
我觉得楼主的问题也说的不是很清楚,详细说明一下看看
xhzhi1985
第3楼2010/01/08
没有采集背景,直接放到傅里叶红外仪里面去测的,本来是打算用衬底做背景,后来觉的不太直观,我就是要看沉积了薄膜后对衬底红外波段透过性的影响,不知这次说清楚没,我不太懂这方面
ppddppdd
第4楼2010/01/08
从测量数据来看,测量过程应该没什么问题。因为SI的透射数据一般在53%附近。镀膜后,可能会增透,因此超过本底并没有什么问题。(有一种80%透射比样品就是利用SI镀膜制成)
ghcily
第5楼2010/01/09
没错,关于Si我以前专门请教过镀膜的一个朋友。
zengzhengce163
第6楼2010/01/09
这方面不懂,学习一下
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