扫描探针显微镜SPM/AFM
hitttr
第1楼2010/01/22
做EFM时，如果偏压反相，Phase图像不变，则说明Phase是形貌的耦合，不是静电力的变化产生，抬起高度太低，针尖碰到样品表面时会出现这种情况，这时Phase图像和普通相位成像没有区别。正常EFM成像的时候，偏压反相，EFM图像会反相，和形貌耦合的Phase图像则不会变化。
guolinhao
第2楼2010/05/08
谢谢 我想问一下 我最近利用日本精工的SPM做刻蚀，想在我们的样品上刻蚀一条线出来，结果却只刻蚀出了几个点，电压加的已经是最高了，而在硅片上却能刻蚀出直线来，这一般是什么原因？
第3楼2010/06/04
如果针尖没有问题的话，那么应该是和样品有关系。
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