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戴安应用文献之－AN119半导体刻蚀酸中阴离子型氟化物表面活性剂的测定

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2005/09/21

离子色谱（IC）

特殊行业应用实例：
全氟化表面活性剂在半导体酸蚀刻溶液中起润湿剂的作用。酸蚀刻剂能够在二氧化硅材质上雕刻出细的划痕。在半导体的制作中，如果酸蚀刻剂的润湿性不好可能有气泡生成，这些气泡会附着在刻蚀表面，影响信号。可以通过增加少量的表面活性剂减少气泡的形成，从而提高溶液的润湿性。

下载链接：
http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/paperDetail.asp?ID=12249

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第1楼2005/10/05

涨涨见识，虽然不懂这些。

0

第2楼2009/04/09

应助达人

来看看，虽然不懂。

0

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