ICP-MS
第1楼2005/09/29
我也急需解决此问题.
第2楼2005/10/11
我做过，好象测得不太好，一般连我自己都不相信
第3楼2006/03/25
我们用高精度的ICP-MS测P，仪器是菲尼根的element。通常我们测P的浓度在0.5ppb，使用的是透明的一次性塑料管，每次都要用酸洗。
第4楼2006/03/31
我过去就问过这个问题，请高手解答，非常感谢。因为工作特别需要。!
DK666
第5楼2023/04/07
我做过，我们测的是单晶硅的Ph，测的是PO(质量数47)，方法是HF H2O2萃取晶圆表面后放烧杯蒸干，然后用水萃取后量测
第6楼2023/04/07
201010123612.1推荐你一个专利号，这个是测Ph的方法
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