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【原创】求教XRD图分析

X射线衍射仪(XRD)

  • 小弟第一次用XRD,在玻璃上镀了一层氮化硅薄膜,硅靶,Ar气溅射气体,氮气反应气体,薄膜厚度在一微米一下,
    用XRD怎么看结构 和成分。求个位大哥指教
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  • jidzhang

    第1楼2010/04/02

    氮化硅的衍射峰都在10度以上,α相的第一个峰在20.6度,最强峰在31.0度,β相的第一个峰在13.4度,最强峰在27.1度。小第你很牛,居然从0度开测,没把探测器烧了吧。

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  • grandpa_2008

    第2楼2010/04/13

    XRD图谱的取点,不是应该都很密集的吗,怎么这个分的这么开啊,除去坐标单看图谱的形式,倒是有点像介电温谱的形态,你用标准PDF比对过没有

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