【讨论】FIB的缺点

我只用过FIB不知道

高能离子束容易造成样品损伤，导致制备出的样品在透射下已经不是本征状态

直观的缺点：薄区面积小啊。。。

好的FIB样品，薄区面积并不小，而且足够做HRTEM了，
当然，需要很有经验和熟练才能制备出好的FIB样品，
不过离子束对样品的损伤是不可避免的，尤其是终期减薄的时候一定要用低电压，不然样品损伤会很重，尤其是金属样品，可能会被打成非晶，另外，对于金属样品来说，比如铝，用FIB制备会引入小的dislocation loop，或者stacking fault，现在专门有一批人在做FIB样品损伤这个课题的