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请教有经验者：电子枪打开看样过程中，真空突然不稳定，并显示红灯

threedaysin

2005/10/18

扫描电镜（SEM/EDS）

大概开了1个多小时，真空开始不稳定，电子枪电流也不稳定了，接着
check gun chamber 亮红灯，并有放气的声音，过后又恢复稳定

是什么原因？
而且最近图像总是调不清楚。

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第1楼2005/10/18

请说明一下电镜厂家、型号，故障现象重复性大不大？

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第2楼2005/10/18

JEOL-6700F
今天刚出现这个情况？
如果是真空不够，漏气，真空密封圈的原因的话？一般的真空油脂能往上抹吗？

0

第3楼2005/10/18

场发射电镜发射枪部位真空泄漏，我第一次听说，几乎不可能。
因为他不是一般的密封，而是 CF SEALING，或 AL SEALING，最差的也要 IN SEALING。
油脂还是留给 W枪吧，哈哈
threedaysin 发表:JEOL-6700F
今天刚出现这个情况？
如果是真空不够，漏气，真空密封圈的原因的话？一般的真空油脂能往上抹吗？

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第4楼2005/10/24

听别人说过,在30KV情况下连续加高压一小时以上由于发热GUN ajoin的IN SEALING容易产生漏气!
另外检查一下是否于样品有关!

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